Powłoki typu nc-CrC/a-C oraz nc-CrC/a-C:H są osadzane metodą rozpylania magnetronowego, w której osadzanie par substratów z rozpylonych czystych tarcz chromowej oraz grafitowych odbywa się w atmosferze Ar lub Ar+H2, odpowiednio. Nanokompozyty mają strukturę nanokrystaliczno-amorficzną i składają się z nanokrystalitów węglika chromu w amorficznej osnowie węglowej, w której występują zarówno obszary o hybrydyzacji sp2 i sp3. Powłoki te osadzane są na powierzchni hartowanej oraz odpuszczanej stali szybkotnącej Vanadis23, utwardzanym dyfuzyjnie stopie tytanu Ti6Al4V oraz podłożach krzemowych typu Si(p). W artykule scharakteryzowano ich skład chemiczny, mikro- i nanostrukturę, właściwości mechaniczne i tribologiczne, a także morfologię i topografię powierzchni. Zbadano także wpływ parametrów procesów osadzania na właściwości powłok.
EN
Nanocomposite nc-CrC/a-C and nc-CrC/a-C:H coatings were deposited using magnetron sputtering of pure chromium target and graphite ones in Ar or Ar+H2 atmosphere, respectively. Coatings have nanocrystaline-amorphous structure and consist of nanocrystalites of chromium carbide in amorphous carbon matrix in which are areas of sp3 and sp2 hybridization. Coatings were deposited onto quenched and tempered Vanadis 23 HSS steel, diffusion hardened Ti6Al4V alloy and pure Si(p) wafers. In this article the chemical compound, mikro- and nanostructure, mechanical and tribological properties, morphology and topography were characterized. The influence of process parameters on coatings' properties was also investigated.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.