Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: napędy grzebieniowe

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Effect of the electrode form on the MEMS structure parameters

Sulima R.

Przegląd Elektrotechniczny

2012

R. 88, nr 10b

11-13

Electrostatic systems with linear and angular movements are compared in this paper. Variants with rectangular and rounded up comb fingers are considered. A field analysis is performed using the 3D models of the relevant comb structures. Calculations and comparison of results show an insignificant effect of the change in microstructure form on the parameters of the system.

Artykuł przedstawia porównanie układów elektrostatycznych grzebieniowych o ruchu liniowym i kątowym. W przypadku ruchu liniowego rozpatrywano przypadki zębów prostokątnych i zębów zaokrąglonych. Przeprowadzono analizę polową z wykorzystaniem modelu 2D i 3D wymienionych konstrukcji grzebieniowych. Obliczenia i porównanie wyników wykazują nieznaczny wpływ zmiany kształtu mikrostruktury na parametry układu.