W pracy przedstawiamy dwustopniową metodę syntezy krzemku palladu w postaci nanoigieł. Nanoigły powstają podczas osadzania warstw węglowo-palladowych na podłożach krzemowych, przy wykorzystaniu technik PVD/ CVD. Nanoigły układu Pd-Si charakteryzowano metodami SEM, TEM, XRD oraz mikroanalizą rentgenowską EDX. Określono strukturę krystaliczną i budowę nanoigieł pod względem ich długości, średnicy przekroju poprzecznego oraz składu.
EN
In this paper we present two steps synthesis method of palladium silicide as nanoneedles. This type of nanoneedles is formed on silicon substrates using PVD/CVD technigues. Nanoneedles Pd-Si system were characterized by SEM, TEM, XRD as well as by microanalysis EDX. The crystallographic structure and the construction of nanoneedles in terms of their length, diameters and composition were determined.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.