Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 2010

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: multilayer films [FeCoTaN/TaN]n

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Development of [FeCoTaN/TaN]n multilayer films for the simultaneous provision of wear protection and soft magnetic properties

Klever Ch., Spitz S., Leiste H., Seemann K., Stuber M., Ulrich S.

Inżynieria Materiałowa

2010

Vol. 31, nr 3

442-444

This study aims to combine the excellent soft ferromagnetic properties of FeCoTMN (TMN - transition metal nitride) nanogranular films with the mechanical hardness of TMNs. As a model system, [FeCoTaN/TaN]n multilayer films were grown using sequential reactive magnetron sputter deposition. The bilayer number n was increased, while the total thickness of the FeCoTaN layers was kept constant at 1000 nm in each film. Subsequent to the deposition, the films were annealed for 60 min at 400°C in order to induce a uniaxial magnetic anisotropy. The microstructure and magnetic properties, as well as the mechanical hardness of the multilayer films were investigated in the as-deposited and in the annealed state and compared to the respective single layer properties. After annealing, all multilayer films were shown to exhibit coercive fields lower than 0.52 mT. The hardness of all multilayer films was improved by 17÷24% compared to the reference single layer film after the annealing procedure.

Praca ma na celu połączenie dobrych, miękkich własności ferromagnetycznych FeCoTMN (TMN - azotki metali przejściowych) nanokrystalicznych warstw z twardością TMN. Jako system modelowy wybrano wielowarstwową powłokę [FeCoTaN/TaN]n osadzoną z wykorzystaniem sekwencyjnego rozpylania magnetronowego. Zwiększając liczbę dwuwarstw n w każdej powłoce, grubość FeCoTaN utrzymywano na poziomie 1000 nm. Po osadzaniu, w celu uzyskania właściwej anizotropii magnetycznej, powłoki poddano wygrzewaniu w 400°C przez 60 min. Mikrostrukturę, własności magnetyczne, jak również twardość wielowarstw badano w stanie po osadzeniu oraz po wygrzewaniu oraz porównano je z tymi właściwymi powłokom jednowarstwowym. Po wygrzaniu wszystkie wielowarstwy wykazywały pole koercji poniżej 0,52 mT. Twardość wielowarstw wzrosła od 17 do 24% w porównaniu z powłokami jednowarstwowymi.