Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Monitoring in situ and experimental laboratory physical aspects of building skins

Katunský D., Lopušniak M., Bagona M., Stone C.

Czasopismo Techniczne. Budownictwo

|

2012

|

R. 109, z. 2-B

199--203

EN

This paper shows the profile of the research project: “The centre for excellent research on progressive building structures, materials and technologies”. The objective of this project is: ”To support the excellent research of structures for smart buildings, particularly those orientated at the quality of life through energy efficiency and environmental acceptability.

PL

Artykuł niniejszy zawiera charakterystykę projektu badawczego: „Ośrodek badania progresywnych struktur, materiałów i technologii budowlanych”. Celem tego projektu jest: „Wspieranie badania struktur budynków inteligentnych, szczególnie nastawionych na wysoką jakość życia poprzez wydajność energetyczną oraz dopuszczalność środowiskową”.

2

Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych : studium

Gnyba M., Kozanecki M., Wroczyński P., Bogdanowicz R.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2010

|

Vol. 51, nr 9

113-116

PL

Przedstawiono zagadnienie monitorowania in-situ próżniowego procesu wzrostu cienkich warstw węglowych, w szczególności diamentowych i diamentopodobnych DLC. Zastosowanie pomiarów ramanowskich umożliwia zbadanie struktury warstwy na poziomie molekularnym (zawartości faz węglowych: sp² i sp³, a także defektów wodorowych). Użycie spektroskopii ramanowskiej in-situ podczas procesu syntezy pozwala monitorować poprawność przebiegu procesu i opracować wytyczne do jego optymalizacji. W artykule przedstawiono konfiguracje układów optycznych, problemy doboru długości fali lasera oraz rezulaty prac eksperymentalnych

EN

In this paper we present selected problems referred to Raman in-situ monitoring of growth of carbon-based thin layers, especially - of diamond and diamond-like-carbon layers. Aplication of Raman measurements enables investigation of molecular composition of the layer (content of sp² and sp³ hybrydised carbon as well as presence of C-H defects). In-situ Raman monitoring enables also investigation of process progress and provides data useful for its optimisation. Setups of optical systems used in Raman spectroscopy, problems of exciation wavelengths selection and results experimental work are shown.

3

Raman modular system with fibre-optic probes for remote monitoring of CVD process

Gnyba M., Bogdanowicz R., Wroczyński P.

Problemy Eksploatacji

|

2006

|

nr 4

115-127

EN

Dedicated Raman system was designed for in-situ monitoring of thin film growth in CVD (chemical vapour deposition) process. Review of monitoring requirements and limiting factors is given in this paper. Computer simulation of laser beam propagation in the CVD chamber and the thin film was carried out. Components for Raman optical probes and their configuration were selected using results of the modelling. Ex-situ investigation of the thin films enabled determination of the Raman scattering intensity. The prototype of the modular Raman system using fibre-optic probes was built. Efficiency of optical signal transmission through the probes was tested.

PL

W artykule przedstawiono projekt systemu ramanowskiego do monitorowania in-situ wzrostu cienkich warstw w procesie CVD i analizę związanych z tym problemów metrologicznych. Na podstawie wyników modelowania komputerowego wprowadzania wiązki laserowej do komory i jej propagacji w cienkiej warstwie wytypowano optymalną konfigurację optyczną systemu ramanowskiego i określono parametry optyczne jego elementów. Zbudowano prototyp modułowego wyposażonego w sondy światłowodowe. Wykonano pomiary wstępne obejmujące badania ex-situ generacji sygnału ramanowskiego w wybranych materiałach oraz testy sondy nadawczej na stole optycznym.