Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2006

Powiadomienia systemowe

Sesja wygasła!
Sesja wygasła!
Sesja wygasła!
Sesja wygasła!

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: molybdenum silicide film

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

The thin film MoSi2 heaters under loading and thermal tests

Beensh-Marchwicka G., Prociów E., Stelmasiński T.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2006

Vol. 47, nr 12

29-31

The thin films MoSi2 (0.9...1.8 µm thick) were investigated for thin film heater applications. The films were deposited on D263 Schott foil or Corning 7059 glass substrates at about 600 K using the magnetron sputter technique. For heating resistors the MeSi-Ag terminations (where Me: Ti, Ni) were used. It was observed that as-deposited MoSi2 films yield the resistivity p in the range of 1 ...1.8 mΩ⋅cm and temperature coefficient of resistance TCR between -1200 and -1600 ppm/K. During loading test the devices were loaded with various dc power 0.5, 1, 1.5 W up to 10 hours at ambient air. Periodically the resistance versus temperature characteristics in the temperature range of 300...500 K were measured to evaluate the both the reversible and non reversible changes in resistance and TCR values. However thermal test was performed in ambient air at 473 K during 200 h for preaged heaters. During thermal test the devices were loaded periodically with dc power about 0.1 W and the changes in film resistance with time were monitored and evaluated.

Cienkie warstwy MoSi2 o grubości 0,9...1,8 µm badano jako cienkowarstwowe elementy grzejne. Warstwy osadzano na podłoża foliowe D263 firmy Schott lub szklane Corning 7059 o temperaturze ok. 600 K przy użyciu techniki rozpylania magnetronowego. Wyprowadzenia grzejników stanowiła dwuwarstwa MeSi-Ag, gdzie Me: Ti lub Ni. Zaobserwowano, że warstwy MoSi2 po napyleniu miały rezystywność p w zakresie 1...1.8 mΩ⋅cm oraz TWR ujemny w granicach (1200...1600)-10⁻⁶/K. Podczas testu obciążenia elementy obciążano mocą prądu stałego 0,5,1 i 1,5 W do 10 h w powietrzu. Do oceny zmian odwracalnych i nieodwracalnych rezystancji i TWR w czasie testu periodycznie mierzono charakterystyki rezystancyjno-temperaturowe w zakresie 300..500 K. Test temperaturowy przeprowadzano w atmosferze powietrza o temperaturze około 473 K w czasie 200 h dla wstępnie starzonych grzejników. Elementy obciążano mocą prądu stałego ok. 0,1 W i rejestrowano zmiany rezystancji w czasie.