Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Two-dimensional modeling RF glow discharge at low pressure

Habel E., Kraloua B., Hennad A.

Przegląd Elektrotechniczny

|

2017

|

R. 93, nr 5

34--39

EN

This paper presents a contribution to understand the fundamental properties of RF glow discharge based on numerical modeling. A fluid model with two dimensional based on the first three moments of Boltzmann equation, coupled with Poisson’s equation is used in this work. This equation system is written in cylindrical coordinates following the geometric shape of a plasma reactor. Our transport equation system is discretized using the finite volume approach and resolved by the exponential implicit scheme. In this work, we are used the time splitting method to resolve our system. The model allows us to obtain the axial and radial distributions parameters of the discharge at different times of Radio-Frequency cycle (RF). The principal parameters are the electronic density, ionic density, electric potential, electric field and electronic temperature.

PL

W artykule analizowane jest numerycznie wyładowanie jarzeniowe RF przy niskim ciśnieniu. Wykorztano model Płynu Dwuwymiarowego oparty na pierwszych trzech momentach w rówananiu Boltzmanna, w połączeniu z równania Poissona. Ten układ równań opisana we współrzędnych walcowych w reaktorze plazmowym. Określono główne parametry gęstości elektronowej, gęstości jonowej, potencjał elektryczny, pole elektryczne.

2

Neon spatio-temporal distributions in a DC glow discharge

Alili T., Bouchikhi A., Rizouga M.

Przegląd Elektrotechniczny

|

2017

|

R. 93, nr 2

188--191

EN

In this presents work the neon spatio-temporal distributions of electron and ion densities, the potential and electric field, the mean electron energy and the metastable atom density are discussed for the first time in the literature. A 1D DC glow discharges behavior has been described with fluid model. It's about the first three moments of the Boltzmann's equation coupled with the Poisson's equation with a self-consistent way. The term source is dominated by both ionization processes, it's about of electron-impact ionization of ground state atoms and chemo-ionization processes. Our model is validated theoretical and experimental.

PL

W artykule analizowany jest przestrzenno czasowy rozkład jonów i elektronów przy wyładowaniu DC w obeccności atomów neonu. Analizowane są też pole elektryczne, średnia energia elektronu, gęstość atomów neonu. Czasowo-przestrzenny rozkład neonu przy wyładowaniu DC.

3

Three-dimensional modelling of the DC glow discharge using the second order fluid model

Tebani H., Hennad A

Przegląd Elektrotechniczny

|

2013

|

R. 89, nr 8

166--171

EN

This paper presents the development of a three dimensional second order fluid model, used to properly describe a DC glow discharge, maintained by secondary emission at cathode, at low pressure, by using Cartesian geometry. The transport description of the charged species uses the corresponding first three moments of Boltzmann equation, coupled in a self-consistent way with Poisson equation. Some assumptions are required in order to simplify the numerical procedure. Thus, all transport equations are treated in the same manner, using classical drift-diffusion expression for fluxes. We used in this work, the Tchebychev distribution for the longitudinal positions, which gives dense grids near the electrodes in order to accurately resolve the sheaths and to speed up the computing time.

PL

W artykule zaprezentowano trójwymiarowy model opisujący DC wyładowanie jarzeniowe otrzymywane przez emisję katodowa przyt niskim ciśnieniu. Do opisu wykorzystano równanie Boltzmanna sprzężone z równaniami Poissona.