W latach 80. powstała technologia mikrosystemu MST (Microsystem Technology), a w latach 90. rozwinął się system mikroelektromechaniki MEMS (Micro-Eletro-Mechanical--System). Równolegle z rozwojem mikroelektroniki i mikromechaniki rozwijała się mikropneumatyka.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.