Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

2 Sulima R.

2 2009

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: mikroprzełącznik elektrostatyczny

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Konstrukcja mikroprzełącznika elektrostatycznego do aplikacji OXC

Sulima R.

Spektrum

2009

nr 9-10

XXXIX-XLIV

Przedstawiono opis modelu kompleksowego elektrostatycznej mikrostruktury grzebieniowej MEMS. Układ taki wykorzystywany może być jako przezroczysty przełącznik w sieciach optycznych DWDM. Przedstawiono opis modelu obwodowego oraz analizę mechaniczną z uwzględnieniem tłumienia w ośrodkach lepkich takich jak powietrze. Mikroprzełącznik charakteryzuje znikomymi oscylacjami podczas przełączania, przy odpowiednim doborze rozmiarów elementów sprężystych oraz elementów napędowych charakterystyka przełączania jest aperiodyczna.

Described is the complex model of an electrostatic comb-drive microstructure MEMS. Such a system can be used as a transparent optical cross-connect in DWDM networks. Presented is description of a circuit model as well as the mechanic analysis considering damping effect in a viscous medium like air. The microswitch is characterized by minimal oscillations during switching and when elastic elements dimensions and drive elements are properly selected, its switching characteristic becomes aperiodic.

Analysis of dynamic model of STEC-type microactuator

Sulima R.

Prace Instytutu Elektrotechniki

2009

Z. 240

241-259

The paper presents an analysis of the model of an electrostatic microactuator of comb-drive design. The analysis includes problems of strength and motion dynamics of the actuator. Calculations were performed for two designs of the moving comb electrode as well as an analysis of the drive’s behavior at different power supply conditions. Dimensions of the individual suspension component parts were chosen and the shapes of the MEMS microactuator operating parts were verified.

W artykule przeprowadzono analizę dynamiczną mikroprzełącznika elektrostatycznego opartego o model STEC (Staggered Torsional Electrostatic Combdrive). Konstrukcja przełącznika przedstawiona jest na rysunku 1. Mikroprzełącznik elektrostatyczny o budowie grzebieniowej składa się z dwóch zestawów płaskich prostokątnych lub o innym kształcie elektrod (rys. 2). Jeden z zestawów jest przytwierdzony do podłoża natomiast drugi zawieszony na elastycznej beleczce spełniającej rolę sprężyny, która to pomaga ruchomemu grzebieniowi w krótkim czasie osiągnąć stan równowagi. Na rysunkach 3 i 4 przedstawione zostały elementarne składowe pojemności całkowitej układu elektrostatycznego o ruchu obrotowym. Model mechaniczny obejmuje obliczenia zginania beleczki zawieszenia pod wpływem ciężaru elektrod, skręcania beleczki pod wpływem ciężaru układu ruchomego oraz skręcania beleczki zawieszenia powstającego od momentu elektrostatycznego wytwarzanego pomiędzy płytkami grzebienia ruchomego i nieruchomego po przyłożeniu napięcia sterującego. Zależność (62) przedstawia równanie dynamiczne elektrody ruchomej, które uwzględnia kształt elektrody oraz współczynnik tłumienia wiskotycznego poruszających się w szczelinach powietrznych płytek krzemowych. Wykonano również obliczenia symulacyjne w pakiecie Simulink Matlab układu o elektrodach prostokątnych. Schemat blokowy przedstawiono na Fig. 8 natomiast wyniki obliczeń znajdują się na rysunku 9. Z obliczeń wynika, że układ taki zasilany sygnałem napięciowym o amplitudzie napięcia 40 V może skręcać się o kąt ± 10°. Przełącznik osiąga stan równowagi po czasie równym 0.3 ms.