Przyczyną gwałtownego rozwoju nano- i mikrotechnologii na świecie jest potrzeba miniaturyzacji. Znajduje ona wiele zastosowań, które z niewielkimi modyfikacjami wykorzystywane są w różnych dziedzinach nauki i przemysłu. Interdyscyplinarna technologia fotolitografii może być stosowana nie tylko w szeroko pojętej mikroelektronice, ale również w tworzeniu mikronarzędzi dla procesów mikroformowania metodami obróbki plastycznej. W pracy wykorzystano technologię fotolitografii i anizotropowego trawienia w celu wytworzenia narzędzi do realizacji procesów mikrowytłaczania. Wykonano narzędzia (matryce i stemple) z monokrystalicznego krzemu, które posłużyły do otrzymania mikrowytłoczek z folii tytanowych. Mikrowytłaczanie folii przeprowadzono na własnej konstrukcji urządzeniu do mikroformowania. Otrzymane bardzo dobrze odwzorowany kształt mikrowytłoczek oraz zadowalającą jakość ich powierzchni.
EN
Miniaturization is the main cause of rapid development of nano- and microtechnology. These technologies play important role in different fields of science and engineering. One of the most dominant and successful method for fabricating small structures at nano- and/or microscales is photolitography. Interdisciplinary photolithography method is widely used not only in microelectronic, but also in engineering. In this study photolithography method has been used for fabricating tools for micro deep drawing process. New-created microtools (dies and punches) were made from the monocrystalline silicon. They were used for the manufacturing of the microparts made from titanium foil. Microtools were mounted in special machine.
2
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
This paper presents some methods of mesh smoothing when using cutting tool inserts with complex geometry of the cutting edge and the rake face. Several sets of meshing parameters are proposed and their influences on the performance of FEM simulation of the cutting process are presented. In addition, both mechanical and thermal characteristics of the cutting process are compared for four groups of meshing parameters. The simulations were carried out for a Ti6Al4V alloy using TiAlN coated carbide commercial cutting tool insert. It was documented that accurate representation of the tool micro-geometry influences the simulation results.
W pracy przedstawiono stanowisko pomiarowe do badania dźwigni mikro- oraz nanomechanicznych stanowiących z punktu widzenia nanometrologii atrakcyjne narzędzia umożliwiające poznanie zjawisk zachodzących w mikro- oraz nanoskali. Manipulacja wówczas wymaga odpowiednich narzędzi, które będą w stanie wykonać ruch rzędu pojedynczych nanometrów czy też działać siłą rzędu pojedynczych nanonewtonów. Struktury wykonane w Instytucie Technologii Elektronowej w Warszawie są idealnym przykładem narzędzi, które umożliwiają obserwację oraz manipulację w mikro- i nanoskali. Istotnym zagadnieniem z punktu widzenia metrologii jest ocena właściwości metrologicznych mikro- i nanostruktur. W głównej mierze interesujące są minimalne oraz maksymalne wartości mierzonych wychyleń oraz sił. Integracja, w strukturze dźwigni, aktuatora wychylenia w postaci pętli prądowej umieszczanej dodatkowo w polu magnetycznym stwarza możliwość kontrolowania wychylenia oraz drgań tego typu mikroprzyrządów.
EN
In this work measurement system for micro- and nanomechanical cantilevers characterization is presented. From metrological point of view they pose as convenient tools for recognition of phenomena occurring in micro- and nanoscale. Precise tools are required that will allow manipulation in single nanometer scale and exert force in range of nanonewtons. Structures developed in Institute of Electron Technology in Warsaw are best example of tools that allow observation and manipulation in micro- and nanoscale. The relevant issue is evaluation of metrological properties of micro- and nanostructures. In the main concern, the most interesting are minimum and maximum values of measured deflections and forces. Actuator integration in form of current loop in cantilever structure creates possibility to control the deflection and vibrations of such microtools.
W artykule omówiono podstawy sekwencyjnej mikroobróbki elektrochemiczno - elektroerozyjnej. Przedstawiono zalety wynikające z połączenie obu technologii w jednym procesie wytwarzania, a także ograniczenia w jej stosowaniu. Następnie scharakteryzowano prototyp modułowego generatora impulsów roboczych dla procesu ECM i EDM i omówiono jego podstawowe zespoły. Prototyp urządzenia budowany jest w ITMiAP Politechniki Krakowskiej.
EN
In the paper has presented prototype of hybrid pulse generator for electrodischarge and electrochemical micromachining. The combination of both process gives possibility to minimize disadvantages and emphasize advantages of electrochemical and electrodischarge micromachining processes. The generator has been in Cracow University of Technology.
Ciągły wzrost popytu na miniaturowe części, powoduje szybki rozwój metod mikroformowania z zastosowaniem obróbki plastycznej. W artykule opisano proces mikroformowania metalowych części, problemy związane ze zmniejszeniem skali obrabianych wyrobów, a także zjawiska zachodzące podczas tego procesu w skali mikro. Przedstawiono przegląd głównych procesów obróbki plastycznej stosowanych w mikroformowaniu w tym kształtowanie cienkich blach i kształtowanie brył. Omówiono także zagadnienia związane z produkcją mikromaszyn.
EN
Increasing demand on miniature parts causes the great growth of microforming methods using metal forming. This paper gives the review of microforming process, problems associated with miniaturization of metal parts and effects which appear during the micro metal forming. Forming technologies like micro massive forming and micro sheet metal forming are described in this paper. The problem of micro machines is mentioned here.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.