Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: mikroemiter polowy

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Mikroinżynieria powierzchni w mikroelektronice próżniowej

Górecka-Drzazga A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2009

Vol. 50, nr 9

49-52

W pracy przedstawiono podstawowe informacje na temat dziedziny techniki zwanej mikroelektroniką próżniową. Opisano polowe, miniaturowe źródła elektronów oraz ich zastosowania. Zaprezentowano wybrane wyniki prac nad mikrostrukturyzacją powierzchni krzemu i węglika krzemu z wykorzystaniem technik mikroinżynieryjnych. Przedstawiono właściwości emisyjne katod polowych wykonanych z matryc mikroostrzy krzemowych i mikroostrzy z węglika krzemu. Zbadano wpływ modyfikacji powierzchni matryc ostrzowych nanorurkami węglowymi na ich emisyjność.

In the paper the basic information in field of vacuum microelectronics is presented. Miniature, field-emission electron sources and their applications are described. The selected results of the works on surface structurization of silieon and silieon carbide with the use of the microengineering techniques are shown. Emissive properties of the silieon and silieon carbide field-emission arrays are presented. Influence of the emitter array surface modification by carbon nanotubes has been investigated.