Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2016

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: mieszaniny tlenków

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Wpływ składu materiałowego cienkich warstw HfO2-TiO2 na ich właściwości strukturalne oraz optyczne

Poniedziałek A., Mazur M., Górnicka B., Pierściński R., Karpiński M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2016

Vol. 57, nr 7

6--8

W pracy przedstawiono wyniki badania wpływu składu materiałowego cienkich warstw TiO2-HfO2 na ich właściwości strukturalne oraz optyczne. Cienkie warstwy tlenków TiO22 oraz ich mieszanin zostały wytworzone za pomocą rozpylania magnetronowego. Zmiana składu materiałowego cienkich warstw miała znaczący wpływ na właściwości strukturalne, powierzchni oraz optyczne. Wytworzone cienkie warstwy z wyjątkiem (Hf0.55Ti0.45)Ox były nanokrystaliczne o średnim rozmiarze krystalitów około 7-11 nm. Obrazy otrzymane przy użyciu skaningowego mikroskopu elektronowego potwierdziły, że cienkie warstwy zbudowane były z ziaren o różnych kształtach oraz rozmiarach z wyjątkiem powłoki, która w mieszaninie miała największą ilość domieszki Ti. Badania przedstawione w pracy pokazały zmianę współczynnika transmisji światła wraz ze wzrostem zawartości TiO2 w mieszaninach. Zaobserwowano także przesunięcie długości fali odcięcia w stronę fal dłuższych oraz wzrost wartości współczynnika załamania światła.

This paper provides research investigation results and analysis of various properties of thin films based on TiO2-HfO2 composites. Thin-film coatings were deposited using multitarget magnetron sputtering stand. Several sets of thin films, including undoped HfO2, TiO2 and their composites, were prepared and their structural and optical properties were discussed. Structural properties were analyzed using results obtained by x-ray diffraction method. In turn, optical properties were evaluated based on the transmission spectra of deposited thin films. It was found that material composition of prepared coatings has an impact on their various properties. Undoped coatings and thin films with lower content of titanium were nanocrystalline, while (Hf0.55Ti0.45)Ox was amorphous. Research on optical properties has shown that transmission of the light of deposited thin films changed with the increase of TiO2 content. It was also observed that Icut-off was shifted towards higher wavelength range and refractive index increased with larger amount of titanium in prepared thin films.