The article presents Verilog – AMS model of the comb-drive sensing element of the integrated capacitive microaccelerometer. The suggested model allows to simulate the reaction of the sensing element effected by the applied force of acceleration, changes of its comb-drive capacities, output voltages and currents for determining its constructive parameters and for analysis of the mechanical module of the integrated device at the behavioral level of computer-aided design.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.