Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
Wyszukiwano:
w słowach kluczowych:  microinterferometry
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
PL
W pracy zostały zbadane i przeanalizowane możliwości pomiarowe Samodzielnego Laboratorium Długości GUM w obszarze pomiarów wzorców wysokości nierówności powierzchni (o wysokości nierówności poniżej 1 μm) - tzw. nanowzorców, charakteryzujących powierzchnię w dwóch (2D) i trzech wymiarach (3D). Pomiary wykonano za pomocą mikrointerferometru oraz profilometru stykowego. W toku pomiarów określono możliwy dolny zakres pomiarowy i niepewność dla obu stanowisk.
EN
The goal of the work, described in this paper, was to examine and analyse measurement capabilities of GUM Length and Angle Department in measurements of step height/depth standards with the values below 1 μm (nanostandards), with 2D, and 3D surface characteristics. Measurements were performed with microinterforometer and stylus profilometer.
EN
Increasing applications of active microelements (incl. micromembranes and micromirrors) introduce unprecedented requirements concerning their design and testing. The paper presents a concept of optical measurement system and methodology for out-of-plane displacement testing of such active microelements. The system is based on Twyman-Green microinterferometer working with a pulse microlaser. It gives the possibility to combine capabilities of stroboscopic and pulse interferometry methods for determination of dynamic behaviour of active microelements, especially vibration amplitude and phase analysis. In the paper special attention is given to the problem of influence of microlaser pulse parameters on the testing capabilities of the interferometric system. The exemplary results of measurements performed on micromembrane with active PZT layer and micromirror activated electrostatically are presented.
PL
Rosnący zakres zastosowań mikroelementów aktywnych (m.in. mikromembran i mikrozwierciadeł) powoduje wzrost wymagań dotyczących ich konstruowania i badań. W artykule prezentowany jest interferometryczny system pomiarowy oraz metodyka badań przemieszczeń pozapłaszczyznowych mikroelementów. System bazuje na konfiguracji Twymana-Greena z wykorzystaniem mikrolasera impulsowego. Stwarza to możliwość zastosowania technik stroboskopowych i impulsowych do badania amplitudy i fazy drgających mikroelementów aktywnych. Dużą uwagę poświęcono analizie wpływu parametrów impulsu na wynik pomiaru. Przedstawiono przykładowe wyniki badań mikromembrany z aktywną warstwą PZT oraz mikrozwierciadła pobudzanego elektrostatycznie.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.