W pracy opisano proces wykonywania struktur kanałów w cieczowych mikrowymiennikach ciepła zintegrowanych z obudowami półprzewodnikowych elementów elektronicznych (diod, tranzystorów, układów scalonych) na przykładzie diody Schottky’ego CSD02060 z obudową typu TO-220. Kanały mikrowymienników ciepła wykonano metodą mikroobróbki laserowej przy zastosowaniu lasera nanosekundowego na ciele stałym (λ = 355 nm). Metoda umożliwiła wytworzenie mikrokanałów o szerokości i głębokości kilkuset mikrometrów. Pomierzono impedancję termiczną diody Schottky’ego CSD02060 zintegrowanej z mikrowymiennikiem ciepła. Wynosiła ona 7,8°C/W (wartość podobna jak dla diody Schottky’ego CSD02060 z dużym radiatorem RADA6405A/150).
EN
In this paper we present a laser method for manufacturing channel in liquid micro heat-exchangers. As an example, a liquid micro heat-exchangers with laser-made channels were incorporated into the metal package of CSD02060 Schottky diode. The channels were made using the laser micromaching technique with a nanosecond solid state laser (λ = 355 nm). The depth and width of manufactured microchannels were both few hundred micrometers. The thermal impedance of CSD02060 Schottky diode integrated with the micro heat-exchanger was 7,8°C/W (similar value to that of the diode when mounted on a large heat-sink RAD-A6405A/150).
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.