Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 2004

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: metoda rate-of-rise

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

An application of the rate-of-rise measurement in the PECVD technology

Rapiejko C., Strojek M., Gazicki-Lipman M.

Inżynieria Materiałowa

2004

R. XXV, nr 3

308-311

The rate-of-rise method consisting in the measurement of an increase of pressure for a system temporarily shut-off from a vacuum pump is based on the differentiated Clapeyron equation, where the differential dp/dt is proportional to the sum of the molar flow rates of all media supplying the gas phase. As long as the pressure increase is linear the derivative may be substituted with the value of delta(p)/delta(t). In addition, a utilization of a capacitive pressure transducer makes this method independent of the types of gases. In the present work different applications of this method in the processes of plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) are presented. They comprise testing the quality of the vacuum system, precise measurements of the flow rate of a minority vapour mixed with a carrier gas in a saturator, and finally flow rate measurements performed for mixtures of a carrier gas with different vapour combinations.

Metoda rate-of-rise polegająca na pomiarze wzrostu ciśnienia w układzie tymczasowo odciętym od pomp próżniowych opiera się na zróżniczkowanym równaniu Clapeyrona, w którym pochodna dp/dt jest proporcjonalna do sumy przepływu molowego wszystkich mediów zasilających fazę gazową. Tak długo jak wzrost ciśnienia jest liniowy pochodne te zastąpić można wartością delta(p)/delta(t). Dodatkowo, wykorzystanie pojemnościowego miernika ciśnienia sprawia, że pomiar jest niezależny od rodzaju gazów. W niniejszej pracy zaprezentowano kilka zastosowań tej metody w procesach PECVD. Obejmują one kontrolę jakości systemów próżniowych, precyzyjne pomiary szybkości przepływu dla niskich zawartości par substancji czynnej w gazie nośnym oraz pomiary szybkości przepływów dla kombinacji par większej Iiczby substancji czynnych w gazie nośnym.