W artykule omówione są dwie konstrukcje źródeł jonowych: z anodą cylindryczną i katodą wnękową wykorzystujące parownik. Źródła te są szczególnie użyteczne do wytwarzania wiązek jonów pierwiastków występujących jako ciała stałe, dostarczając natężeń prądów jonowych rzędu 70 ... 100 µA (w wypadku Al, Bi, As, Sb), 25 µA (Eu) oraz 15 ... 30 µA (Fe, V, Cr oraz jony podwójne i molekularne). Przedstawiono zasadę działania obu źródeł zwracając uwagę na dzielące je różnice. Zaprezentowano wybrane wyniki eksperymentalne ilustrujące ogólne zasady rządzące zachowaniem omawianych źródeł jonów.
EN
The paper presents two constructions of ion sources with an evaportor: with an cyllindrical anode or an hollow cathode. The sources are especially suitable for ion production from solids, providing ion currents of 70...100 µA (Al, Bi, As, Sb etc.), 25 µA (Eu) and 15 ... 30 µA (Fe, V, Cr and molecular or doubly charged ions). The principle of operation is discussed taking into consideration the differences between the two designs. Some chosen experimental data is shown in order to illustrate the processes that occur in the ion sources.
2
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
W artykule zaprezentowano nowy typ źródła jonów, szczególnie użyteczny w razie potrzeby uzyskania wiązek jonów pierwiastków metalicznych, także trudnotopliwych. Opisano także model numeryczny pozwalający na obliczenia wydajności jonizacji w zależności od parametrów pracy źródła. Przedstawiono wyniki symulacji. Pokazano wybrane doświadczalne charakterystyki źródła, otrzymane dla żelaza i glinu.
EN
A new type of ion source is presented that is especially useful for metalic ion beams, also in the case of refractory metals. A numerical model enabling ion source efficiency calculations is described and some simulation results are discussed. Ion source characteristics measured for iron and aluminum are presented.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.