The silicon cantilever with the planar coil was applied to the magnetic flux density measurements. The optoelectronic device for the measure of cantilever bending was presented and described.A coil is supplied any the direct current. The magnetic field intensity change causes the beam end displacement and changes the angle of cantilever bending. The dependence of the cantilever and external magnetic field parameters as well on the angle of the cantilever bending was investigated and analyzed.
PL
Przedstawiono mikroelektromechaniczny przetwornik z belkę krzemową i płaską cewką do pomiaru indukcji pola magnetycznego. Cewka zasilana jest ze źródła prądu stałego. Opisano system optoelektroniczny do pomiaru ugięcia belki. Zmiany natężenia pola magnetycznego powodują przemieszczenie końca belki i zmianę kąta ugięcia belki. Analizowano wpływ parametrów uzwojenia na rozkład generowanego pola magnetycznego w celu optymalizacji konstrukcji cewki.
2
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
Przedstawiono mikromechaniczny system do pomiaru indukcji pola magnetycznego. W systemie zastosowano mikrobelkę krzemową z warstwą ferromagnetyczną. Analizowano wpływ parametrów belki oraz oddziaływanie zewnętrznego pola magnetycznego na kąt ugięcia belki. Zaprezentowano układ optoelektroniczny do pomiaru ugięcia belki.
EN
The micromechanical device dedicated to measuring the magnetic induction is presented in this paper. A micromechanical silicon cantilever with a ferromagnetic surface layer is applied in the system. The authors analyzed the influence of cantilever parameters and external magnetic field on the angle of cantilever bending. The optoelectronics device for measure the cantilever bending is presented.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.