Miniaturowe czujniki z falami ultradźwiękowymi znajdują szerokie zastosowanie w różnych dziedzinach pomiarów. Większość zastosowań tych czujników wynika z efektu masowego obciążenia powierzchni. Przeanalizowano właściwości czujników z różnymi rodzajami fal ultradźwiękowych pod kątem przydatności w różnych pomiarach z wykorzystaniem efektu masowego. Podano wpływ innych zjawisk występujących na powierzchniach czujników pracujących w gazach i cieczach.
EN
The ultrasonic wave microsensors have versatile applications in a variety measurements. The most applications of these sensors result as a mass effect of the surface loading. The methods of the measurement of the sensors with the ultrasonic wave parameters are presented. The oscillator system with the sensor working in the close loop was taken into considerations. The mass sensitivity for that kind of sensor was determined. The equations expressing the mass sensitivities for different kinds of ultrasonic waves were given as well as the example values for the determined frequencies. The properties of the kinds of ultrasonic waves were discussed taking their use at the measurements based on the mass effect into account. The other mechanisms influence on surface of the sensors working in gas and liquid phases was also given.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.