PL
 |
EN
Preferencje help
Polish version English version Język
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
Wyszukiwano:
w słowach kluczowych:  magnetron liniowy
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
1
Content available remote Deposition of wear-resistant TiN layers in linear magnetron sputtering system.
Miernik K., Walkowicz J., Kułakowska-Pawlak B., Żyrnicki W.
Zagadnienia Eksploatacji Maszyn
|
1998
|
Vol. 33, nr 2
287-291
EN
It is the aim of this paper to study the influence of the plasma parameters of the linear magnetron with lineary extended plasma zone on the TiN layer properties and its chemical composition. Plasma parameters in different zones of plasma area were investigated using optical spectroscopy. The influence of changes in pressure on I-V characteristics and the distribution of plasma emission area were found. Practical possibilities and its application for thin film deposition are discussed.
PL
Badano wpływ parametrów plazmy liniowego magnetronu z liniowym rozszerzeniem strefy plazmy na właściwości warstwy TiN i jej skład chemiczny. Parametry plazmy w różnych strefach były badane przy użyciu spektroskopii optycznej. Wykryto wpływ zmian cisnienia na charakterystyki I-V i rozkład pola emisji plazmy. Omówiono praktyczne możliwości jego wykorzystania w nakładaniu cienkiej warstwy.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.