Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2010

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: low-coherence reflectometry

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Zastosowanie interferometrii niskokoherentnej do jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika załamania struktur warstwowych

Pluciński J., Strąkowski M., Kosmowski B. B.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2010

Vol. 51, nr 6

136-139

W pracy przedstawiono techniki oparte na interferometrii niskokoherentnej jednoczesnego pomiaru współczynnika załamania i grubości struktur warstwowych. Zaproponowano dwie metody: pierwsza oparta jest na pomiarze położenia górnej powierzchni granicznej warstwy i jej grubości optycznej (położenie dolnej powierzchni granicznej powinno być znane wcześniej); druga oparta jest na wykorzystaniu dynamicznego ogniskowania wiązki laserowej. Przeprowadzone testy pokazały, że możliwy jest jednoczesny pomiar grubości geometrycznej warstwy z dokładnością 1µm i współczynnika załamania z dokładnością lepszą niż 0,01.

The paper presents a technique based on Iow-coherence interferometry for simultaneous measurement of refractive index and thickness of layered structures. Two methods are proposed: the first one is based on the measurement of the position of the upper boundary surface of the layer and its optical thickness (the position of the Iower boundary surface of the layer should be known in advance), the second one is based on dynamie focusing of the laser beam that is used in the measuring system. Performed tests have shown that it is possible to simultaneously measure the geometrie thickness with the accuracy of 1 µm, and the refractive index of better than 0.01.