Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Nukleonika

1 1999

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: low energy implantation

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

SIMS study of low energy implantation

Hereć J., Filiks J., Sielanko J.

Nukleonika

1999

Vol. 44, nr 2

103-110

The paper presents the results of direct, low energy implantation investigations, using the SIMS apparatus. The retained dose for the Cu and Ag samples as a function of irradiation dose of the Cs+and K+ ions, as a primary beam was measured. From such relation the range profiles of implanted ions were calculated. The comparisons with the results of the computer simulation and analytical theory are also presented.

W pracy zostały przedstawione wyniki badań dotyczące implantacji niskoenegetycznej przeprowadzone przy użyciu spektrometru mas jonów wtórnych. Dokonane zostały pomiary zależności dawki jonów Cs+ lub K+ zaimplantowanych do tarczy Cu i Ag od dozy jonów pierwotnych (Cs+lub K+) bombardujących powierzchnie próbki. Na podstawie otrzymanych krzywych nasycenia sporządzono profile głębokościowe zaimplantowanych jonów. Porównano również wyniki otrzymane z symulacji komputerowej z danymi uzyskanymi w oparciu o model analityczny.