Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Zeszyty Naukowe Politechniki Świętokrzyskiej. Nauki Techniczne

1 2014

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: laser microtechnologies

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Laserowe mikrotechnologie w mikrosystemach

Tomczyk M., Walczak M., Sęk P.

Zeszyty Naukowe Politechniki Świętokrzyskiej. Nauki Techniczne

2014

Z. 18

260--268

Artykuł przedstawia wyniki laserowej obróbki materiałów, takich jak: Si, Al2O3 oraz ZrO2, stosowanych do budowy mikrosystemów. Konieczność wiernego odtwarzania geometrii i wymiarów w skali mikro stawia szczególne wymagania dotyczące procesu obróbki laserowej. Laserowe mikrotechnologie muszą być prowadzone w warunkach, które zapewnią doskonałe prowadzenie zogniskowanej wiązki laserowej, np.: skanowanie z odpowiednią szybkością, prawidłowy dobór czasu trwania impulsu oraz repetycji. Na jakość odwzorowania w procesach laserowej mikroobróbki ma również wpływ ilość zaabsorbowanej energii. Warunki, w których prowadzona jest mikroobróbka, powinny uwzględniać konieczność utrzymania małej strefy oddziaływania ciepła. Niniejszy artykuł potwierdza możliwość wykorzystania technologii laserowej do takich zastosowań.

This article presents some results of laser processing of Si, Al2O3, ZrO2, used for the construction of microsystems and microsensors. The necessity of exact reproducing the geometry and dimensions in the microscale puts specific requirements for laser machining process: operating it under conditions which ensure the perfect guidance of a well-focused laser beam, scanning at a suitable speed, and the adequate selection of laser pulse duration with proper repetition frequency. Influence on this process have: the amount of absorbed energy depended on wavelength of laser radiation and kind of material, and the need to maintain a small heat affected zone (HAZ). This guarantees keeping the exact reproduction of microshapes and cutting edges with a different angle of lines even in microscale details. The present work confirms the possibility of using laser technology for such applications.