Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Journal of Machine Construction and Maintenance - Problemy Eksploatacji

1 2018

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: kształt ostrza

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Estimation of shape of AFM tip with “Cross-Forrest” calibration standard

Jóźwiak G., Moczała-Dusanowska M., Gajewski K., Sierakowski A., Wójcicki P.

Journal of Machine Construction and Maintenance - Problemy Eksploatacji

2018

no. 4

41--46

The “Cross-Forrest” tip shape calibration standard for regularized blind tip reconstruction has been fabricated and investigated. The confirmation of previously reported theoretical findings is shown. However, the KSVD-OMP algorithm of images denoising has been extended by additional group sparsity penalty and Shi Tomasi corner detection algorithm with 100 nm size window for cross concave corners needed to be applied. The comparison of SEM direct tip imaging with 3D shapes reconstructed on the basis of filtered and unfiltered AFM images are shown and the qualitative agreement has been confirmed. The optimization of fabrication technology of “Cross-Forrest” structure is required to allow quantitative tip shape measurements. It should limit the uncertainty of the initial shape of an AFM tip, and the resulting uncertainty of final shape which is the improved version of the initial one.

Wykonano i zbadano strukturę „Cross-Forrest” służącą do kalibracji kształtu ostrza metodą regularyzowanej ślepej rekonstrukcji. Potwierdzono prezentowane w literaturze wyniki teoretyczne. Wymagało to jednak rozszerzenia algorytmu filtracji obrazów KSVD-OMP o dodatkową funkcję kary w postaci wskaźnika grupowej rzadkości reprezentacji oraz zastosowania algorytmu Shi-Tomasiego z 100 nm oknem do detekcji wklęsłych narożników krzyża. Porównano obrazy SEM ostrzy z ich trójwymiarowymi rekonstrukcjami kształtu i potwierdzono zgodność jakościową. Do uzyskania zgodności ilościowej niezbędna jest jednak optymalizacja technologii wykonania struktur „Cross-Forrest”, która pozwoli ograniczyć niepewność oszacowania kształtu początkowego ograniczającą niepewność oszacowania kształtu finalnego.