Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

2 Zeszyty Naukowe Akademii Morskiej w Gdyni

2 2012

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: komora rezonansowa

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Spektroskopowe badania wyładowania mikrofalowego w źródle plazmy typu komora rezonansowa zasilana falowodowo

Hrycak B., Miotk R., Jasiński M., Dors M., Scapinello M., Mizeraczyk J.

Zeszyty Naukowe Akademii Morskiej w Gdyni

2012

nr 75

169--180

W pracy przedstawiono wyniki spektroskopowych badań wyładowania mikrofalowego (2,45 GHz) pod ciśnieniem atmosferycznym, generowanego w źródle plazmy typu komora rezonansowa. Gazami roboczymi były: argon, azot oraz metan, a także mieszaniny argon/metan oraz azot/metan. Natężenie przepływu gazu roboczego zmieniano w zakresie od 50 do 100 l/min, natomiast moc mikrofal absorbowanych przez wyładowanie wynosiła od 300 do 4000 W. Zmierzone zostały widma z zakresu 300–600 nm. Zmierzone widma emisyjne porównywane były z widmami uzyskanymi przy użyciu programów symulacyjnych w celu wyznaczenia temperatur rotacyjnych i oscylacyjnych jonów azotu N₂+ oraz molekuł węgla C₂, azotu N₂ i cyjanu CN.

In this paper, results of spectroscopic study of microwave (2.45 GHz) plasma at atmospheric pressure in waveguide-supplied resonant-cavity-based plasma source are presented. Pure argon, nitrogen and methane, as well as mixtures argon/methane and nitrogen/methane were used as working gases. Working gas flow rate and microwave absorbed power varied from 50 up to 100 l/min and from 300 up to 4000 W, respectively. The emission spectra in the range of 300-600 nm were recorded. The rotational and vibrational temperatures of N₂+ ions, C₂, N₂ and CN molecules were determined by comparing the measured and simulated spectra.

Rozkłady pola elektrycznego wewnątrz mikrofalowego źródła plazmy (MŹP) typu komora rezonansowa zasilana falowodowo

Nowakowska H., Mizeraczyk J.

Zeszyty Naukowe Akademii Morskiej w Gdyni

2012

nr 75

124--136

W artykule przeprowadzono analizę numeryczną właściwości elektrodynamicznych mikrofalowego źródła plazmy typu komora rezonansowa zasilana falowodowo, przeznaczonego do plazmowej obróbki gazów. Zbadano wpływ odległości między elektrodami i przenikalności elektrycznej dielektryka wypełniającego komorę na wartości częstotliwości rezonansowych i rozkłady pola elektromagnetycznego odpowiadające dwóm najniższym rezonansowym. Ponadto zbadano wpływ parametrów plazmy (unormowana koncentracja elektronów i unormowana częstość zderzeń elektronu) na rozkłady pola elektrycznego wewnątrz komory przy pobudzeniu falą o częstotliwości 2,45 GHz. Obliczenia wykonano za pomocą oprogramowania Comsol Multiphysics.

In this paper electric field distributions of a waveguide-fed resonant-chamber-type microwave plasma source are determined numerically solving the wave equation using commercial software. Dependence of the resonant frequencies for different electrodes gap widths and the dielectric insert electric permittivity values is examined. Influence of plasma parameters on electric field distributions inside the MPS is analyzed.