Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Powiadomienia systemowe
  • Sesja wygasła!

Znaleziono wyników: 3

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
Wyszukiwano:
w słowach kluczowych:  koherencja czasowa
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
PL
W artykule przedstawiono nową koncepcję systemów pomiarowych do charakteryzacji urządzeń MEMS i MOEMS rozwijaną w ramach projektu finansowanego przez Unię Europejską pod tytułem "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). Celem projektu jest specjalna kompaktowa konstrukcja wielozadaniowego stanowiska interferometrycznego pozwalającego na bezdotykowe i szybkie wykonywanie pomiarów na badanych obiektach dzięki multiplikacji optycznych kanałów głowic pomiarowych. W projekcie rozwijane są dwa typy głowic pomiarowych. Pierwsza z nich bazuje na konstrukcji interferometru Mireau, a zasadę działania opiera na interferencji światła z obniżonym stopniem koherencji czasowej. Druga głowica jest interferometrem laserowym w konfiguracji Twymana-Greena zbudowany ze specjalnie zamodelowanych struktur dyfrakcyjnych.
EN
Below we present the new approach towards microsystems characterization at wafer level developed under EU project "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). The goal of the project is to provide fast, cost effective and flexible optical inspection system. Two different interferometer approaches are pursued in the project's development process: a refractive optics based Mireau type Iow coherence interferometer and a diffractive optics based Twyman-Green laser interferometer. Below we present the design and the tests of the interferometr Twyman-Green. The multifunctional approach of the laser interferometer measurement concept allows within one instrument to inspect MEMS shape and deformation as well as to characterize a spatial distribution of out-of-plain amplitude of vibration at a resonance frequency. The interferometer architecture require custom designed diffractive optical elements.
PL
Celem pracy było dobranie diody i ustalenie najlepszych warunków jej pracy dla zastosowania do detekcji prążka zerowego rzędu interferencyjnego w układzie interferometru do pomiaru przemieszczenia. W pracy przedstawiono wyniki badania diod laserowych zasilanych prądem poniżej progu akcji laserowej i powyżej prądu operacyjnego. Badano koherencję diod zależnie od temperatury złącza. Sprawdzano, jaki wpływ ma wiązka kierowana z powrotem do struktury lasera.
EN
A research in to decreasing a temporary coherence of multimodal diode lasers was done. The contrast was determined. Influence of current and temperature was investigated.
PL
Badania miały na celu ustalenie w jakim stopniu można zmniejszyć koherencję czasową wielomodowej diody laserowej przez zmiany prądu pracy. Badano kontrast prążków w funkcji różnicy dróg optycznych dla czterech prądów zasilania, sprawdzano różnice między egzemplarzami serii.
EN
A research in to decreasing a temporary coherence of multimodal diode lasers was done. The contrast was determined. Four current supple levels was checked. The difference among piece was tested.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.