W referacie przedstawiono stanowisko obróbkowe oraz opis układu źródła jonów typu Kaufmana dającego prostokątny kształt wiązki jonów. Opisano stosowane próbki, procesy obróbki jonowej próbek stacjonarnych i obrotowych. Podano parametry i wyniki obróbki dotyczące zmian chropowatości i topografii powierzchni oraz głębokości efektywnej penetracji jonów.
EN
The present paper presents the machining stand and the description of Kaufman's ion source system producing the rectangular ion beam. There described the samples applied and ion machining process of stationary and rotary samples and defined parameters and machining results of roughness and surface topography changes as well as the effective ion penetration depth.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.