PL
 |
EN
Preferencje help
Polish version English version Język
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 4

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
Wyszukiwano:
w słowach kluczowych:  interferometria laserowa
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
1
SMARTIEHS : interferencyjne stanowisko do równoległych pomiarów MEMS i MOEMS
Gastinger K., Kujawińska M., Zeitner U. D., Michael S., Gorecki C.
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
|
2010
|
Vol. 51, nr 6
159-161
PL
W artykule przedstawiono nową koncepcję systemów pomiarowych do charakteryzacji urządzeń MEMS i MOEMS rozwijaną w ramach projektu finansowanego przez Unię Europejską pod tytułem "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). Celem projektu jest specjalna kompaktowa konstrukcja wielozadaniowego stanowiska interferometrycznego pozwalającego na bezdotykowe i szybkie wykonywanie pomiarów na badanych obiektach dzięki multiplikacji optycznych kanałów głowic pomiarowych. W projekcie rozwijane są dwa typy głowic pomiarowych. Pierwsza z nich bazuje na konstrukcji interferometru Mireau, a zasadę działania opiera na interferencji światła z obniżonym stopniem koherencji czasowej. Druga głowica jest interferometrem laserowym w konfiguracji Twymana-Greena zbudowany ze specjalnie zamodelowanych struktur dyfrakcyjnych.
EN
Below we present the new approach towards microsystems characterization at wafer level developed under EU project "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). The goal of the project is to provide fast, cost effective and flexible optical inspection system. Two different interferometer approaches are pursued in the project's development process: a refractive optics based Mireau type Iow coherence interferometer and a diffractive optics based Twyman-Green laser interferometer. Below we present the design and the tests of the interferometr Twyman-Green. The multifunctional approach of the laser interferometer measurement concept allows within one instrument to inspect MEMS shape and deformation as well as to characterize a spatial distribution of out-of-plain amplitude of vibration at a resonance frequency. The interferometer architecture require custom designed diffractive optical elements.
2
Content available Wpływ sposobu wyznaczenia poprawki kalibracyjnej na określane przewyższenie
Frukacz M.
Geodezja / Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie
|
2005
|
T. 11, z. 1/1
115--125
PL
W pracy zaprezentowano sposoby obliczania poprawki kalibracyjnej do wyników niwelacji precyzyjnej. Zaprojektowano i przeprowadzono eksperyment statystyczny, który polegał na losowym generowaniu wyników niwelacji oraz określaniu dla nich wartości poprawek liczonych różnymi sposobami. Zaobserwowano, że zróżnicowane sposoby liczenia poprawki kalibracyjnej mogą powodować skażenie wyników niwelacji błędami o charakterze systematycznym. Dla porównania policzono dla danych z eksperymentu wartości innych poprawek wprowadzanych do wyników niwelacji precyzyjnej
EN
In this paper, the author presents the methods of determination of a calibrating correction of the precise leveling results. The purpose of the statistical experiment which was carried out, was to generate randomly the results of levelling as well as determine the calibrating corrections in four ways. It was observed that different ways of calculating this correction may cause the occurrence of systematical errors. The values of other corrections, for example correction for refraction, in this experiment was calculated for comparison
3
Content available remote Sposoby wyznaczania poprawki kalibracyjnej dla precyzyjnych łat niwelacyjnych
Frukacz M.
Geodezja / Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie
|
2003
|
T. 9, z. 2/2
583-591
PL
W artykule zaprezentowano przegląd czynników związanych z konstrukcją łat, które mają wpływ na dokładność wyników niwelacji precyzyjnej. Szerzej przedstawiono grupę błędów, których wpływ zmniejsza się przez obliczenie odpowiedniej poprawki, a mianowicie błędów spowodowanych zmianą długości taśmy inwarowej na skutek zmian temperatury oraz błędów naniesienia i określenia skali podziału. Na podstawie badań prowadzonych w Geodezyjnym Laboratorium Metrologicznym AGH zaprezentowano problemy pojawiające się w procesie wyznaczania współczynnika rozszerzalności termicznej oraz błędów podziału łat kreskowych. Wnioski formułowano w oparciu o wyniki wzorcowania łat ustawionych w pozycji pionowej, gdzie wzorcem pomiarowym był interferometr laserowy firmy Hewlett Packard. Przedstawiono także dotychczasowe oraz zaproponowano dwie nowe metody wyznaczenia i wprowadzenia do niwelacji precyzyjnej poprawki kalibracyjnej i termicznej.
EN
The article presents a spectrum of factors connected with the construction of rods that have influence on the accuracy of precise levelling results. The author focuses on a group of errors, influence of which is lessened by calculating a proper correction, to be more precise, the errors caused by the change of length of invar tape under the influence of the change of temperature as well as errors in plotting and determining the graduated scale. Basing on the research held by the Geodetic Meteorological Laboratory of AGH the author presents various problems that occur in the process of determining the coefficient of thermal expansion and rod graduation errors. The conclusions had been formed in accordance with the results of verification of rods being set vertically, using Hewlett Packard's laser interferometer as a measurement pattern. Apart from presenting already existing techniques, the author introduces two unknown methods of determination and introduction a calibrating and thermal correction to the precise levelling.
4
Content available remote Technologia kompleksowego sprawdzania łat niwelacyjnych z wykorzystaniem interferometru laserowego HP 5529A
Pokrzywa A., Mróz J., Szczutko T., Ruchel J., Przewięźlikowska A.
Geodezja / Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie
|
2000
|
T. 6, z. 1
11-17
PL
W artykule podano wymogi dotyczące sprawdzania łat niwelacyjnych wedle obowiązujących przepisów, oraz przedstawiono etapy sprawdzania łat na pionowym interferencyjnym komparatorze geodezyjnym za pomocą interferometru laserowego HP 5529 A. Przedstawiono także opis komory do wyznaczania współczynnika rozszerzalności termicznej oraz sposób jego wyznaczania.
EN
The article describes the requirements associated with the verification of levelling staffs according to the regulations currently in force as well the individual stages of verification of staffs on a vertical interferance survey calibrator with the help of a laser interferometer HP 5529 A. A description of the chamber used to determine the coefficient of thermal expantion and the measurement process is included in addition.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.