Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Projektowanie i monitorowanie procesu azotowania gazowego

Olik R., Ratajski J., Suszko T., Dobrodziej J., Lipiński D., Michalski J.

Problemy Eksploatacji

|

2009

|

nr 1

145-156

PL

W artykule przedstawiono zasadę działania oraz modele analityczne i algorytmiczne czujnika magnetycznego przeznaczonego do pomiarów in-situ w trybie on-line kinetyki warstwy azotowanej w zadaniach projektowania, kontroli i wizualizacji procesów azotowania gazowego. W koncepcji komputerowego projektowania wykorzystano m.in. metody sztucznej inteligencji ze względu na trudności w rozwiązywaniu analitycznym lub numerycznym złożonych zagadnień termodynamicznych dotyczących m.in. przemian fazowych. W rezultacie otrzymano możliwości polioptymalizacji oraz wieloparametrycznych symulacji procesu połączone z wizualizacją zmian wartości parametrów w funkcji czasu oraz możliwości predykcji właściwości warstw azotowanych. Do wizualizacji in-situ wzrostu warstwy azotowanej opracowano procedury komputerowe wykorzystujące korelację pomiędzy sygnałem napięciowo-czasowym czujnika rezultatu procesu (czujnika magnetycznego), bezpośredniego oraz różniczkowego, a kinetyką wzrostu warstwy. Procedury komputerowe umożliwiają integrację rejestrowanych w trybie on-line sygnałów napięciowo-czasowych z modelem teoretyczno-eksperymentalnym procesu.

EN

In this article, a comprehensive system of design, visualisation and in-situ control of gas nitriding process has been presented. The methods of artificial intelligence for the concept of computer design were used because of the difficulty in the numerical and analytical solution of complex issues including the thermodynamic of phase transformation. The results are tools to polioptimalisation and multiparameters simulation of the process course allowing prediction of the properties of nitrided layers. The procedures for in-situ visualisation of growth of the nitrided layer was developed using the results of correlation of voltage-time courses registered by result sensor (magnetic sensor), direct and differential with the appropriate stage of growth layer. The computer procedures allow correlation, during the process, of the voltage-time courses with theoretical-experimental model of the process.

2

MOVPE : stan obecny, kierunki rozwoju, zastosowanie w technologii struktur optoelektronicznych

Ściana B.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2008

|

Vol. 49, nr 1

94-98

PL

Omówiono rolę techniki MOVPE we współczesnym rynku komponentów optoelektronicznych. Pokazano silną pozycję tej technologii w przemysłowej produkcji diod LED o wysokiej jaskrawości - HB-LED. Przedstawiono nowy zakres materiałów osadzanych w technice MOVPE, w tym warstw tlenkowych. Pokazano współczesne możliwości systemów MOVPE kontroli i monitorowania in-situ procesu wzrostu. Podkreślono przyszłe wyzwania w zakresie badań podstawowych i produkcji przemysłowej komponentów optoelektronicznych.

EN

This paper presents the MOVPE technique and its role in the contemporary optoelectronic market. Different types of device structures made by MOVPE are presented and discussed. There were shown the MOVPE systems for deposition oxides layers and different methods for in-situ monitoring of the growth process. The future industrial and research challenges were pointed out.

3

Control systems in-situ of nitrided layer growth and deposited layer in PVD processes

Ratajski J., Olik R., Baranov A.

Problemy Eksploatacji

|

2005

|

nr 2

93--104

EN

In the paper in-situ visualisation system of nitrided layer growth and monitoring system of growth and etching process of carbon films via X-ray reflectivity have been presented. The principle of operation of the visualisation system is based on a complementary interaction of the magnetic sensor and the theoretical-experimental model of the process (model of the process). The magnetic sensor is placed directly in the furnace retort and constitutes an element of the system which monitors the nucleation and the growth of the nitrided layer as a result of a change of the value of the magnetic permeability of the ferromagnetic diffusion layer, and the creation of iron nitrides being paramagnetic in the temperatures of the process. In-situ X-ray reflectivity provides a unique possibility of simultaneous determination of roughness and density of the deposited film.

PL

W pracy omówiono układ in-situ wizualizacji wzrostu warstwy azotowanej oraz układ monitorowania wzrostu warstw węglikowych za pomocą analizy odbitego promieniowania rentgenowskiego. Zasada działania układu wizualizacji polega na komplementarnym współdziałaniu czujnika magnetycznego i modelu eksperymentalno-teoretycznego procesu. Czujnik magnetyczny jest umieszczony bezpośrednio w retorcie pieca i stanowi element układu, który monitoruje zarodkowanie i wzrost warstwy azotowanej w wyniku zmiany wartości przenikalności magnetycznej ferromagnetycznej warstwy dyfuzyjnej i tworzenia się azotków żelaza, paramagnetycznych w temperaturach procesu. Analiza in-situ odbitego promieniowania rentgenowskiego dostarcza unikalnych możliwości równoczesnego określania chropowatości i gęstości nanoszonej warstwy.