Increasing pressure give more uniform diffusion layers to complex geometry charges, as well as unstable discharge and increased heat loss. In the paper, the energy relations between power source, and the chamber of technological processes are being carried out in an extended pressure range.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.