Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2008

Powiadomienia systemowe

Sesja wygasła!

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: fluorescencja promieniowania X

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Zastosowanie niskokątowej analizy promieniowania x (GIXA) do badań układów cienkowarstwowych

Mietniowski P., Powroźnik W., Kanak J., Stobiecki T., Kuświk P.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2008

Vol. 49, nr 1

48-51

Niskokątowa analiza promieniowania X (GIXA: Grazing Incidence X-Ray Analysis) w badaniach niniejszej pracy jest kombinacją pomiarów reflektometrycznych (XRR: X-Ray Reflectivity) i kątowej zależności fluorescencji promieniowania X (AD-XRF: Angle-Dependent X-Ray Fluorescence). Metoda XRR jest powszechnie stosowaną techniką pomiarów grubości i szorstkości cienkich warstw. Pomiary XRR i AD-XRF wykonano na dyfraktometrze firmy Philips X'Pert MPD. W przypadku pomiarów AD-XRF został zastosowany chłodzony ciekłym azotem detektor Si(Li) firmy Canberra. Wykonano pomiary dla układów wielowarstwowych [Ni80Fe20/Au] ×15 i [Ni80Fe20/Au/Co/Au] ×10. Stwierdzono występowanie charakterystycznych maksimów braggowskich na krzywej XRR i maksimów interferencji fali stojącej krzywej AD-XRF odpowiadających grubościom periodów NiFe+Au dla pierwszego i NiFe+Au+Co+Au dla drugiego układu wielowarstwowego. Dla obu metod otrzymano dobrą zgodność wyników pomiaru grubości poszczególnych warstw składowych badanych układów.

Grazing Incidence X-Ray Analysis (GIXA) is a non-destructive technique and has the potential to be powerful and versatile analytical method because it combines X-ray reflectivity (XRR) and angle-dependent X-ray fluorescence (AD-XRF). XRR is well-known method for the determination of thickness, surface and interface roughness of thin layers and multilayer systems. A complementary technique is AD-XRF, with which the compositional depth profile of the layered materials can be determined. The measurements of XRR and AD-XRF were performed on Philips X'Pert diffractometer. In the case of AD-XRF, the liquid-N2 cooled Si-Li Canberra detector was installed in order to measure the energy spectrum of X-ray fluorescence radiation from the multilayer sample. We applied these techniques for study the profiles of XRR and AD-XRF spectra of the periodic multilayer systems of [NiFe/Au] ×15 and [Ni80Fe20/ Au/Co/Au] × 10. Characteristic Bragg diffraction maxima of XRR curve and maxima of standing wave interferences in AD-XRF curves corresponding to the thickness of superlattice periods: Ni80Fe20+Au for the first and Ni80Fe20+Au +Co+Au for the second multilayer system. For both methods a good agreement of thickness measurements were obtained.