Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Polowa wyrzutnia elektronów dla miniaturowych urządzeń typu MEMS

Grzebyk T., Szyszka P., Górecka-Drzazga A.

Przegląd Elektrotechniczny

|

2015

|

R. 91, nr 2

219-221

PL

W artykule przedstawiono konstrukcję i technologię miniaturowego polowego źródła elektronów kompatybilnego z mikrosystemami MEMS (Micro-Electro-Mechanical System). Źródło składa się z katody polowej z warstwą nanorurek węglowych, elektrody ekstrakcyjnej w postaci siatki oraz krzemowej anody, przedzielonych szklanymi dystansownikami. Zaprezentowano charakterystyki prądowo-napięciowe wykonanych wyrzutni oraz określono wpływ geometrii elektrody ekstrakcyjnej na ich pracę. Uzyskano wysoki prąd emisji polowej 200 μA (U < 1000 V) oraz współczynnik transmisji elektronów przez siatkę sięgający 70%.

EN

In the article construction and technology of a miniature field-emission electron source compatible with MEMS-type microsystems are described. The electron source is formed as a silicon-glass sandwich and consists of carbon nanotube cathode, mesh extraction electrode and silicon anode, all separated by glass spacers. Influence of extraction electrode geometry on the emission characteristics of the device is presented. Emission current reaches 200 μA (U < 1000 V) and transmission ratio of electrons passing through the gate electrode can be as high as 70%.

2

Mikropompa dla urządzeń nanoelektroniki próżniowej

Grzebyk T., Górecka-Drzazga A.

Przegląd Elektrotechniczny

|

2012

|

R. 88, nr 10b

114-116

PL

Rozwój urządzeń nanoelektroniki próżniowej jest ograniczony brakiem możliwości wytworzenia wysokiej i ultra wysokiej próżni w objętości mniejszej niż 1 cm3. W pracy przedstawiono konstrukcję i technologię mikropompy jonowo-sorpcyjnej, która może być zintegrowana z każdym urządzeniem wytworzonym technikami mikroinżynieryjnymi. Wykonano struktury testowe mikropompy i zmierzono ich właściwości.

EN

The development of vacuum nanoelectronics devices is limited due to an unsolved problem of high and ultrahigh vacuum generation inside cavity smaller than 1 cm3. In the work construction and technology of the ion-sorption vacuum micropump, which can be integrated with each microdevice that is fabricated using microingineering techniques, is described. The test structures of the micropump have been produced and preliminary characterized.

3

Vacuum microdevices

Grzebyk T., Górecka-Drzazga A.

Bulletin of the Polish Academy of Sciences. Technical Sciences

|

2012

|

Vol. 60, nr 1

19-23

EN

In the paper MEMS-type microsystems working in vacuum conditions are described. All the benefits and drawbacks of vacuum generated in microcavities are discussed. Different methods are used to produce vacuum in microcavity of MEMS. Some bonding techniques, sacrificial layer method or getter materials are presented. It is concluded that the best solution would be to invent some kind of vacuum micropump integrated with MEMS structure. Few types of already existing vacuum micropumps are shown, but they are not able to generate high vacuum. As the most promising candidate for miniaturization an orbitron pump was selected. The working principle and novel concepts of its construction are described. The most important part of the micropump, used for gas ionization, is a field-emission electron source. Results of a research on a lateral electron source with gold emissive layer for integration with a micropump are presented.

4

Mikroinżynieria powierzchni w mikroelektronice próżniowej

Górecka-Drzazga A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2009

|

Vol. 50, nr 9

49-52

PL

W pracy przedstawiono podstawowe informacje na temat dziedziny techniki zwanej mikroelektroniką próżniową. Opisano polowe, miniaturowe źródła elektronów oraz ich zastosowania. Zaprezentowano wybrane wyniki prac nad mikrostrukturyzacją powierzchni krzemu i węglika krzemu z wykorzystaniem technik mikroinżynieryjnych. Przedstawiono właściwości emisyjne katod polowych wykonanych z matryc mikroostrzy krzemowych i mikroostrzy z węglika krzemu. Zbadano wpływ modyfikacji powierzchni matryc ostrzowych nanorurkami węglowymi na ich emisyjność.

EN

In the paper the basic information in field of vacuum microelectronics is presented. Miniature, field-emission electron sources and their applications are described. The selected results of the works on surface structurization of silieon and silieon carbide with the use of the microengineering techniques are shown. Emissive properties of the silieon and silieon carbide field-emission arrays are presented. Influence of the emitter array surface modification by carbon nanotubes has been investigated.