Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: elektrony wstecznie rozproszone

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Trójwymiarowa rekonstrukcja powierzchni w SEM z zastosowaniem półprzewodnikowego detektora elektronów wstecznie rozproszonych

Słówko W., Jeziorski Ł., Krysztof M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2011

Vol. 52, nr 11

53-55

Przedstawiono system przeznaczony do trójwymiarowej (3D) rekonstrukcji powierzchni w skaningowym mikroskopie elektronowym (SEM), złożony z kwadrupolowego detektora półprzewodnikowego elektronów wstecznie rozproszonych, czterokanałowego sytemu cyfrowej akwizycji sygnałów i systemu przetwarzania opartego na komputerze klasy PC. Autorzy zastosowali tu metodę wykorzystującą specyficzny rozkład kątowy elektronów wstecznie rozproszonych na powierzchni próbki. Algorytmy przetwarzania sygnałów związane z procesem rekonstrukcji powierzchni zostały uzupelnione o procedury kompensacji błędów metody. Dzięki temu, po wstępnej kalibracji, system pozwala odtworzyć topografię powierzchni z dokładnością lepszą niż 10%, jeśli nachylenia nie przekraczają 60°. Pozwala także na odtworzenie kształtu bardzo gładkich powierzchni i może działać bardzo szybko, niemal w "czasie rzeczywistym" dostarczając informacji o kształcie powierzchni obiektów niezależnie od ich składu materiałowego.

A 3D surface reconstruction system for SEM consisting of a quadruple semiconductor detector of backscattered electrons, a four-channel framegrabber and PC-based processing unit, is presented. The authors explored a method that takes advantage of the angular distribution of backscattered electrons to obtain quantitative topography contrast and visualise the surface shape. Software processing algorithms were developed to carry out the reconstruction process and compensate several types of errors, inherent in the method. After pre-calibration, the system allows to obtain surface topography with accuracy better than 10% when maximum slope angles are below 60°. It is also capable to reconstruct the shapes of very smooth surfaces and can operate very quickly, almost in real-time, providing reliable, composition-independent reconstructions for a broad class of materials.

Backscattered electrons topographic mode problems in the scanning electron microscope.

Kaczmarek D.

Optica Applicata

2001

Vol. 31, nr 3

649-658

The application of several backscattered electron (BSE) detectors makes it possible to separate topographic (TOPO) contrasts and material (COMPO) contrasts in a 'scanning' electron microscope (SEM). The BSE signals from six p-i-n diodes were used to investigate some artifacts connected with the reconstruction of real topography. The location of these diodes had been predicted theoretically to obtain algebraic formulas for the appropriate mixing of the BSE signal from the detectors. The specimen surface was specially prepared for estimation of the surface reconstruction quality. The TOPO mode in the SEM was realized with the use of analog and digital methods. The experimental and theoretical analysis indicates that the signal difference from the detector placed at higher angles (in relation to x axis) is preferable for topography reconstruction. The goal-of this paper is to discuss some ways of eliminating the artifact that-the structures parallel to the connection lines of diametral detectors can only be imaged with less contrast.