Analityczne wyznaczenie pojemności połączeń w układach VSLI opiera się na wzorach empirycznych formułowanych dla typowych struktur (podobszarów) podstawowych, łączonych w celu modelowania bardziej złożonych konfiguracji geometrycznych. W prezentowanym artykule problem dodawania wkładów poszczególnych podobszarów do pojemności całkowitej został zbadany dla ścieżek przecinających się w kilku warstwach. Zaproponowano uproszczoną procedurę obliczania tej pojemności.
EN
Analytical evaluation of capacitances of interconnections in VLSI circuits is based on empirical equations formulated for basic typical structures combined to model more complex geometric configurations. In presented paper this procedure of addition of subregions contribution to the total capacitance is verified for Iines crossing in several metallization levels. Simpler but more accurate method for evaluation of this capacitance is proposed.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.