W artykule przedstawiono kilka geometrii dyfrakcji promieniowania X, aby wskazać na ich zalety i wady w zastosowaniu do badań cienkich warstw. Możliwość uzyskiwania ukierunkowanej informacji w stosunku do badanego przedmiotu z obrazu dyfrakcyjnego powoduje, że metody dyfrakcyjne szczególnie nadają się do badań cienkich warstw. Możliwość uzyskiwania ukierunkowanej informacji w stosunku do badanego przedmiotu z obrazu dyfrakcyjnego powoduje, ze metody dyfrakcyjne szczególnie nadają się do badań warstw powierzchniowych. Dla uzyskania tego stwierdzenia przeanalizowano dodatkowo efektywne głębokości wnikania promieniowania X. Dyfrakcja w geometrii stałego kąta padania umożliwia tomograficzne badania właściwości warstw, powłok i filmów.
EN
Majority of diffraction methods have ability to be applied in surface engineering. X-ray diffraction methods are able to measure some properites in demanded direction in investigated object. The X-ray effective depth of penetration is main factor characterising application ability of X-ray diffraction methods to thin films. The grazing angle of X-ray diffraction geometry is becoming as a powerful tool for tomografic investigations of thin layers.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.