Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

The Optimum-efficiency Beam Multiplier for an Arbitrary Number of Output Beams and Power Distribution

Frezza F., Marciniak M., Pajewski L.

Journal of Telecommunications and Information Technology

|

2017

|

nr 3

94--98

EN

This paper deals with phase gratings working in the paraxial domain. The profile of the optimum-efficiency beam multiplier with an arbitrary number of output diffraction orders is derived in an analytic form by exploiting methods from the calculus of variation. The output beams may be equi-intense or with arbitrary distribution of power. Numerical examples are given for different values of the number of output beams.

2

Uniform illumination by diffractive shaping of independent light beams

Sobczyk A., Sypek M., Siemion A., Makowski M., Suszek J., Kołodziejczyk A.

Opto-Electronics Review

|

2011

|

Vol. 19, No. 2

189-192

EN

This article presents a new optical set-up for illumination of a common area with a few independent light sources. The main aim is to create a uniform light distribution of a constant shape even if one of the light sources will stop working. In such a case, the shape of the light distribution should remain unchanged, however, the total light intensity will be lower. The novelty of the proposed solution is based on the usage of a small number of the independent light sources in opposite to a well known LED arrays approach. The beam shaping is made using Dammann gratings and specially designed blazed phase diffractive gratings. The article contains the theoretical analysis and the computer simulation verified by the experiment.

3

SMARTIEHS : interferencyjne stanowisko do równoległych pomiarów MEMS i MOEMS

Gastinger K., Kujawińska M., Zeitner U. D., Michael S., Gorecki C.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2010

|

Vol. 51, nr 6

159-161

PL

W artykule przedstawiono nową koncepcję systemów pomiarowych do charakteryzacji urządzeń MEMS i MOEMS rozwijaną w ramach projektu finansowanego przez Unię Europejską pod tytułem "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). Celem projektu jest specjalna kompaktowa konstrukcja wielozadaniowego stanowiska interferometrycznego pozwalającego na bezdotykowe i szybkie wykonywanie pomiarów na badanych obiektach dzięki multiplikacji optycznych kanałów głowic pomiarowych. W projekcie rozwijane są dwa typy głowic pomiarowych. Pierwsza z nich bazuje na konstrukcji interferometru Mireau, a zasadę działania opiera na interferencji światła z obniżonym stopniem koherencji czasowej. Druga głowica jest interferometrem laserowym w konfiguracji Twymana-Greena zbudowany ze specjalnie zamodelowanych struktur dyfrakcyjnych.

EN

Below we present the new approach towards microsystems characterization at wafer level developed under EU project "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). The goal of the project is to provide fast, cost effective and flexible optical inspection system. Two different interferometer approaches are pursued in the project's development process: a refractive optics based Mireau type Iow coherence interferometer and a diffractive optics based Twyman-Green laser interferometer. Below we present the design and the tests of the interferometr Twyman-Green. The multifunctional approach of the laser interferometer measurement concept allows within one instrument to inspect MEMS shape and deformation as well as to characterize a spatial distribution of out-of-plain amplitude of vibration at a resonance frequency. The interferometer architecture require custom designed diffractive optical elements.

4

Konstrukcja i badania interferometru laserowego bazującego na elementach dyfrakcyjnych dedykowanego do pomiarów M(O)EMS

Jóźwik M., Liżewski K., Zeitner U. D., Haugholt K.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2010

|

Vol. 51, nr 6

157-159

PL

W artykule przedstawiono opis i badania demonstratora interferometru laserowego w konfiguracji Twymana-Greena przeznaczonego do charakteryzacji elementów M(O)EMS. Konstrukcja urządzenia opiera się na wykorzystaniu siatek dyfrakcyjnych, odpowiednio zamodelowanych i zoptymalizowanych do funkcji pełniących w interferometrze. Siatki, po oświetleniu płaską wiązką wytworzoną przez diodę laserową i kolimator, pozwalają na odpowiednie prowadzenie wiązki w układzie, podział amplitudy na wiązkę przedmiotową i referencyjną, uformowanie czoła referencyjnego po odbiciu od struktury referencyjnej i łączenie obu wiązek powracających po odbiciach. Specjalna kompaktowa konstrukcja urządzenia pozwala na jego multiplikację i stworzenie wielokanałowej głowicy do jednoczesnego pomiaru kilkunastu badanych obiektów.

EN

Below we present the new approach towards microsystems characterization at wafer level developed under EU project "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). The goal of the project is to provide fast, cost effective and flexible optical inspection system. Two different interferometer approaches are pursued in the project's development process: a refractive optics based on Mirau type Iow coherence interferometer and a diffractive optics based on Twyman-Green laser interferometer. Below we present the design and the tests of the interferometer Twyman-Green. The multifunctional approach of the laser interferometer measurement concept allows within one instrument to inspect MEMS shape and deformation as well as to characterize a spatial distribution of out-of-plain amplitude of vibration at a resonance frequency. The interferometer architecture requires custom designed diffractive optical elements.

5

Analiza topografii powierzchni dyfrakcyjnych elementów optycznych z wykorzystaniem interferometrii światła białego

Kapłonek W., Tomkowski R.

Pomiary Automatyka Kontrola

|

2009

|

R. 55, nr 4

272-275

PL

W artykule przedstawiono możliwości oceny i analizy topografii powierzchni dyfrakcyjnych elementów optycznych za pomocą jednej z metod interferometrii światła białego. W badaniach wykorzystano próbkę zawierającą 8 elementów dyfrakcyjnych generujących wzory optyczne o kształtach linii, zbioru linii (poziomych i pionowych) oraz krzyża. Elementy oceniano pod względem geometrii ukształtowania powierzchni za pomocą systemu pomiarowego Talysurf CCI 6000 firmy Taylor Hobson. Zarejestrowane dane pomiarowe analizowano korzystając z oprogramowania Talymap Platinum. Wyniki badań potwierdziły dużą przydatność metody pomiarowej, jak i zastosowanego urządzenia w ocenie tego typu powierzchni posiadających złożoną, wielowarstwową strukturę.

EN

The paper presents the method based on white light interferometry - SBI (Scanning Broadband Interferometry). SBI uses a correlation algorithm to find the coherence peak and phase position of an interference pattern produced by a selectable bandwidth light source. It provides both high resolution and excellent sensitivity of the returning light. This method can be applied to ultra precision assessment of wide range of surfaces. Measurements of different types of materials, including glass, metal, photo resist, polymer, liquid inks are also possible to be taken. In experimental investigations there was assessed the surface topography of DOEs (Diffractive Optical Elements). A sample containing 8 diffractive optical elements generating optical patterns in the form of single line, multi-lines and crosshair was used for measurements. The surfaces of the all DOEs were measured by an advanced measurement system Talysurf CCI 6000 produced by Taylor Hobson. The measurement data recorded were analysed by Talymap Platinum software. The investigation results confirmed the usefulness both of the measuring method and the applied measurement system for assessment of this type of multilayered surfaces.