Przedstawiono nowe rozwiązanie systemu detekcyjnego, przeznaczonego do kierunkowej detekcji elektronów w niskopróżniowej skaningowej mikroskopii elektronowej, w celu trójwymiarowej (3D) rekonstrukcji topografii powierzchni metodą wielodetektorową. Kluczowym zespołem systemu jest głowica próżniowo-detekcyjna, stanowiąca komorę pośrednią układu pompowania różnicowego, w której wnętrzu zainstalowano czterokwadrantową diodę PIN jako detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSE). Rolę detektora elektronów wtórnych (SE) typu jonizacyjnego, pełni przesłona dławiąca przepływ gazu. Pokazano, że w dyskutowanym rozwiązaniu można uzyskać kierunkową detekcję BSE, niezakłóconą w skutek rozpraszania w gazie jak i detekcję SE w szerokim zakresie ciśnień.
EN
A new system for directional detection of electrons in low vacuum scanning electron microscopy (LVSEM) is presented. The system is destined for three dimensional (3D) reconstruction of the surface topography with the multi detector method. A main unit of the system is the vacuum-detection head playing the role of an intermediate chamber of the differential vacuum system and containing a four-quadrant PIN diode as the backscattered electron (BSE) detector. The role of a secondary electron (SE) detector of the ionization type is performed by the aperture throttling gas flow. Authors show that both the directional BSE detection undisturbed by scattering and SE detection can be obtained in a wide range of gas pressures.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.