Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2011

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: conductive electrode

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Cienkie warstwy ZnO:Al jako przezroczyste i przewodzące elektrody

Czternastek H., Sokołowski M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2011

Vol. 52, nr 4

67-69

Warstwy ZnO:Al otrzymywano metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego tarczy metalicznej o składzie Zn: 3% at. Al w mieszaninie argon-tlen. Do stabilizacji przepływu tlenu do komory roboczej wykorzystano spektroskopię emisyjną plazmy. Przy wartości linii emisyjnej wzbudzonych atomów cynku l Zn / l Zn max = 0,60 warstwy ZnO:AI posiadały wysoko zorientowane ziarna z osią c prostopadłą, do podłoża i najlepsze parametry optoelektroniczne. Optyczne własności najlepszej warstwy były modelowane w obszarze widzialnym i bliskiej podczerwieni stosując prosty i rozszerzony model Drude'go. Tak otrzymany opór ρ (ω) był porównany z pomiarami stałoprądowymi wykonanymi metodą Van der Pauw'a.

Al-doped ZnO films were prepared by a dc magnetron sputtering technique from Zn: 3 at.% Al target in an argon-oxygen mixture. Plasma-emission monitoring was used to stabilize oxygen flow to the deposition chamber. ZnO:AI films deposited at a relative intensity of the zinc emission line l Zn / l Zn max (λ = 480 nm) = 0.60 had highly oriented crystallites with c-axis normal to the substrate and the best optoelectronic properties. The optical properties of best Al-doped ZnO film for the visible and near-infrared region were modeled using the simple and extended Drude theory. The resulting resistivity ρ (ω) was compared with dc conductivity carried out in a Van der Pauw configuration.