Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: composite substrates

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Trójwymiarowa wizualizacja naprężeń w podłożach hybrydowych i strukturach cienkowarstwowych

Borysiewicz M. A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2009

Vol. 50, nr 10

32-34

Zaprezentowano metodę trójwymiarowe] wizualizacji kształtu powierzchni płytek podłożowych i tworzenia map naprężeń w warstwach na nich osadzanych na przykładzie podłóż hybrydowych Si (lub SiC]/SiO2/poli-SiC. Metoda ta wykorzystuje komercyjne urządzenie do pomiaru naprężeń, Tencor FLX 2320, którego funkcjonalność poszerzono we własnym zakresie.

A method of 3D visualisation of wafer surface deflection and of maps of stress in thin films deposited on the wafers is presented. In the method we make use of a commercial Tencor FLX 2320 stress measurement system, whose characterisation capabilities were upgrader by own means.