W artykule krótko przedstawiono dwie metody interferencyjne stosowane w dokładnych pomiarach topografii powierzchni. Są to metody interferencyjne oparte na technikach pomiaru fazy oraz na technikach wykorzystujących analizę korelacji koherencji.
EN
The paper presents two interference methods that are used in precise measurements of surface topography. These are interference methods which use the techniques of phase-shifting interferometry and coherence scanning interferometry.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.