W artykule przedstawiono metodę otrzymywania mikroprętów ZnO na szklanych podłożach pokrytych ITO metodą chemical bath deposition w polu elektrycznym. Badania XRD potwierdziły uzyskanie struktur o heksagonalnej strukturze typu wurcytu, w których rozmiar krystalitów oraz naprężenia znacznie zależą od temperatury prowadzenia procesu osadzania. W strukturach ZnO o największym stopniu uporządkowania zmierzony moduł piezoelektryczny d33 wynosił 16,61 pm/V.
EN
The paper was presented a method for obtaining zinc oxide microrods on glass substrates coated with ITO. ZnO microrods were obtained by the chemical bath deposition method in the electric field, which allowed obtain the layers with a high level of order. XRD confirmed that obtained structure is hexagonal wurtzite type in which the crystallite size and stress depend on the temperatures of the deposition process. In the most ordered ZnO structures, the measured d33 piezoelectric module was 16.61 pm/V.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.