Przedstawiono możliwości konstrukcji mikroukładów chemicznych z wykorzystaniem materiałów ceramicznych i polimerowych. Opracowano technikę trwałego i odwracalnego łączenia warstw ceramicznych i polimerowych, zależnie od dalszego przeznaczenia konstruowanego mikroukładu. W przypadku wykorzystania go w systemie z ciśnieniowym transportem mediów ciekłych przez układ konieczne jest bondowanie trwałe z wykorzystaniem plazmowej modyfikacji kolejnych warstw. W mikroukładach z transportem elektroosmotycznym próbek wystarczają jedynie siły wzajemnej adhezji warstw ceramicznych i polimerowych. W obu przypadkach ceramiczne elementy mikrosystemów należało pokryć warstwą szkliwa.
EN
The possibilities of the construction of microsystems using ceramics and polymers were presented in the paper. The technology of irreversible and reversible bonding of ceramic and polymer microsystems' layers was developed. The irreversible bonding is required only for microfluidic structures, in which samples and reagents are introduced into the system using pressure methods. For the systems with an electroosmotic reagents dosing adhesion forces between particular layers are enough to seal the microchannels. In both cases a glaze layer was screen-printed on ceramic plates to eliminate their surface roughness.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.