The paper presents the analysis of formation of interfacial layer during deposition of diamond like carbon film (DLC) on the 316L stainless steel by capacitive plasma discharge in the CH4 atmosphere. The structure of the interfacial layer of DLC film was strongly affected by the temperature increase during the initial stages of the process. Initially, thin interfacial layer of 5 nm has been formed. As the temperature had reached 210°C, the second phase of the process was marked by the onset of carbon atoms diffusion into the steel and by the interface thickness increase. Finally, the growth of chromium carbide interface, the upward diffusion of chromium and nickel atoms to film, the etching and the decrease of the DLC film thickness were observed at 233°C. These investigations were carried out ex-situ by spectroscopic ellipsometry, X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy and Raman spectroscopy.
For many years, research on carbon films has been stimulated by the need to simultaneously optimize their biological and mechanical properties and by the challenges related to their deposition on medical implants. The residual mechanical stress occurring inside deposited films is the most important mechanical parameter which leads to the total destruction of these films by cracking and peeling. In the present work, we systematically studied the effect of ion bombardment during the process of radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (RF PECVD) by monitoring the temperature distribution on a cannulated screw using the infrared technique. The obtained experimental and finite element modeling (FEM) results show that stresses in carbon films deposited on a cannulated screw are quite inhomogeneous and depend on the geometry of the sample and the relative position of the studied contact area between the substrate/film interface and the surface of the film.
PL
Od wielu lat prowadzone są badania mające na celu zredukowanie naprężeń, w węglowych warstwach stosowanych na implanty medyczne, bez pogorszenia własności mechanicznych i biologicznych. Niemniej jednak poznanie mechanizmów wywołujących naprężenia wymaga szczegółowej analizy numerycznej. Wysoka wartość naprężeń mechanicznych występujących w osadzanych warstwach prowadzi poprzez pękanie i odwarstwienie do ich całkowitego zniszczenia, co znacząco organiczna praktyczne wykorzystanie warstw węglowych. W prezentowanej pracy, przeanalizowano wpływ bombardowania jonów podczas procesu plazmochemicznego (RF PECVD) na rozkład temperatury na powierzchni śruby ortopedycznej przy użyciu kamery termowizyjnej. Przeprowadzone eksperymenty i uzyskane rezultaty modelowania (MES) pokazały, ze naprężenia w warstwach węglowych osadzonych na śrubie ortopedycznej sa niejednorodne i zależą od rzeczywistej powierzchni styku pomiędzy podłożem a powłoka jak i geometrii samej próbki.
Pure methane plasmas have been produced in an inductively coupled radio frequency (ICRF) reactor with quartz walls in the absence of carbon film deposition. A differentially pumped mass spectrometer was used for the recording of the secondary hydrocarbon species produced in the reactor. The functional dependences of these species with plasma parameters has been analyzed and tentative mechanisms for their formation have been formulated. High power per molecule ratio promotes methane decomposition and acetylene formation.
4
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
A carbon films were deposited on the steel substrates from argon-acetylene gas mixture at atmospheric pressure by plasma jet chemical vapor deposition. The Ar/C2H2 gas volume ratio was 150:1, while the distance between plasma torch nozzle exit and the samples was 0.005-0.02 m. Scanning electron microscopy analysis revealed that the growth rate and surface roughness of the coatings increases with the distances. The hydrogen and oxygen concentrations (RBS, ERD data) in the films increase with the increase of the deposition distance. Raman spectroscopy indicated that the film prepared at 0.005 m has the highest sp3 C-C fraction, while the coating deposited at 0.02 m consist from polymeric CHx bonds.
PL
Na substratach stalowych osadzano powłoki węglowe z gazowej mieszaniny argonu i-acetylenu poprzez wspomagane plazmowo chemiczne osadzanie z fazy gazowej przy ciśnieniu atmosferycznym. Stosunek objętościowy gazów w Ar/C2H2 wynosił 150:1, a odległość pomiędzy wylotem palnika plazmowego i próbkami – 0,005-0,02 m. Skaningowa mikroskopia elektronowa wykazała, że szybkość wzrostu i szorstkość powłok rosną wraz z odległością. Koncentracje wodoru i tlenu (dane RBS i ERD) w powłokach rosną wraz ze wzrostem odległości osadzania. Spektroskopia ramanowska wykazała, że powłoka osadzona z odległości 0,005 m miała najwyższą zawartość sp3 C-C , podczas gdy powłoka osadzona z odległości 0,02m składała się z polimerowych wiązań CHx.
Wysokie naprężenia ściskające występujące w warstwach węglowych znacząco ograniczają ich grubość, gdyż prowadzą do jej delaminacji. W prezentowanej pracy zbadano wpływ ujemnego potencjału autopolaryzacji na wartość naprężeń występujących w warstwach węglowych wytworzonych na tytanowym podłożu podczas procesu RF PECVD. Otrzymane wyniki pokazują, że metoda pomiaru naprężeń oparta na zależności Stoney'a pozwala na dokładne pomiary naprężeń w przypadku warstw osadzanych na wybranym podłożu. Maksimum naprężeń ściskających jest obserwowane dla małych wartości potencjału autopolaryzacji (-300 V) i stale maleje wraz ze wzrostem napięcia. W przedziale od -500 V do -600 V mierzone naprężenia zmieniają się z naprężeń ściskających na rozciągające. Po zmianie znaku naprężenia w warstwie wzrastają wraz z wartością potencjału autopolaryzacji. Wpływ mikrostruktury na naprężenia wewnętrzne w warstwach był analizowany przy użyciu spektroskopii Ramana.
EN
High compressive stress present in carbon films significantly limits their thickness because of delamination. In this work, the effect of substrate bias on the amount of stress in carbon films deposited on titanium substrate by the RF PECVD technique was investigated. The results obtained show that the Stoney formula provides a very convenient and accurate way to measure the stress in the case of films deposited on selected substrates. The maximum of compressive stress is observed at low bias voltage (-300 V) and it steadily decreases with the increasing value of this voltage. In the range from -500 V to -600 V the measured stress changes from compressive to tensile and it continuously increases with further bias increase. The effects of the film microstructure on the film's internal stress were also studied using Raman spectroscopy.
Electron emission from diamond and diamond-like carbon thin films deposited on silicon substrate has been studied. The diamond films were synthesized using radio frequency chemical vapor deposition method. The films were deposited using radio frequency chemical vapor deposition method. The films were charcterized using standard Scanning Electron Microscopy (SEM), Raman Spectroscopy (RS) techniques. Raman spectra of both diamond and diamond-like films exhibit spectral features characteristic of these structures. Electron emission studies were carried out using a sphere-to-plane electrode configuration. The results of electron emission were analyzed using the Fowler-Nordheim model. It was found that the diamond necleation density affected the electron emission properties. The emission turn-on fields are about 50 V/um, 90 V/um and 140 V/um for the small-grain diamond films, DLC films and large-grain diamond films, respectively.
Metodą spektroskopii w podczerwieni badano charakter oddziaływań NO z węglami oraz katalizatorami naniesionymi na powierzchnię węglową. Dodatek 1% Pt do nieutlenionego węgla znacznie zwiększa zdolności katalitycznego rozkładu NO. Konwersja NO wzrasta wraz ze wzrostem temperatury. Widma FTIR tlenków azotu rejestrowano w kuwecie gazowej o przedłużonej drodze optycznej.
EN
The interactions or NO with carbon and carbon supported catalysts have been investigated by means of infrared spectroscopy. The addition of only 1% of Pt to the unoxidized carbon improved considerably the NO decomposition. The NO conversion increased with increasing reaction temperature in the whole temperature range. The effluent from the microreactor was analyzed by FTIR spectroscopy. The FTIR spectra of nitrogen oxides were recorded in multiple reflection gas cell.
Stosując technikę filmów węglowych metodą FTIR, badano reakcję katalitycznego rozkładu NO za pomocą CH4 na węglach czystych oraz promowanych Pt, w zakresie temperatur 200-350°C. Widma zmian spektralnych filmu węglowego promowanego Pt wykazały, iż NO w podwyższonych temperaturach ulega chemisorpcji, w wyniku której powstają powierzchniowe układy nitrowe. W wyniku reakcji jako produkty pośrednie tworzą się również układy cyjankowe i izocyjanianowe.
EN
Carbon film technique bas been used to investigate the catalytic reduction or NO by CH4 with the use of FTIR spectroscopy, on carbon and carbon supported Pt catalyst, in the range of temperature from 200 to 350°C. The spectral changes of the carbon supported Pt catalyst showed that in higher temperatures NO is chemisorbed in a form of surface nitrocompounds. As a result of the NO/C4 reaction the -CN and -NCO structures as intermediates are formed.
9
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
Examination described in this article was made in Laboratorie de Materiaux in ECAM (L'Ecole Catholique d'Arts et Metiers), Lyon. It was preceded by investigation concerning overing of cemented carbide cutting tools by wear resistant carbon films examined in technical University in Lodz. The works concerned three types of cutting tools: slitting saws, ang-type cutters and cutter head plates. In all cases the increase of tools life was from 50 to 00 percent depending on types of tools and parameters of deposition. All milling tests were arried out in real work conditions in wood industry. In details information about properties f carbon film, NCD (nanokrystalline diamond) and DLC (diamond-like carbon) sintered in RF PCVD method and wear behavior cutting tools with and without carbon layer was escribed in works wrote by Mitura, Niedzielski and others [1,2,3]. The aim of this project was to examine influence parameters of deposition and method of location of samples on RF-power electrode in RF PCVD method on structure of carbon coatings, which covered cemented carbide substrates. During researches Scanning Electron Microscope (SEM) type PHILIPS XL30i was used, with installed microanalysis system (EDX) from EDAX.
Metodę (13) 3C CP-MAS NMR wykorzystano do spektralnych badań zmian struktury chemicznej podczas procesu wstępnej karbonizacji przez utlenianie celulozy w atmosferze tlenu. Wzrost stężenia powierzchniowych tlenków kwasowych badano również w trakcie procesu utleniania w atmosferze tlenu lub w roztworze HNO(3) węgli aktywnych otrzymywanych drogą niskotemperaturowej (600°C) karbonizacji celulozy w próżni.
EN
The (13)C CP- MAS NMR has been employed for spectrum investigations of chemical structure changes during the initial carbonisation process by cellulose oxidation in the atmosphere of oxygen. A rise of the concentration of surface acidic oxides was measured during the oxidation process, in oxygen atmosphere or in HNO3 solution, of active carbons obtained from low temperature (600°C) cellulose carbonisation in a vacuum surrounding.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.