Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: calibration standard

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Estimation of shape of AFM tip with “Cross-Forrest” calibration standard

Jóźwiak G., Moczała-Dusanowska M., Gajewski K., Sierakowski A., Wójcicki P.

Journal of Machine Construction and Maintenance - Problemy Eksploatacji

2018

no. 4

41--46

The “Cross-Forrest” tip shape calibration standard for regularized blind tip reconstruction has been fabricated and investigated. The confirmation of previously reported theoretical findings is shown. However, the KSVD-OMP algorithm of images denoising has been extended by additional group sparsity penalty and Shi Tomasi corner detection algorithm with 100 nm size window for cross concave corners needed to be applied. The comparison of SEM direct tip imaging with 3D shapes reconstructed on the basis of filtered and unfiltered AFM images are shown and the qualitative agreement has been confirmed. The optimization of fabrication technology of “Cross-Forrest” structure is required to allow quantitative tip shape measurements. It should limit the uncertainty of the initial shape of an AFM tip, and the resulting uncertainty of final shape which is the improved version of the initial one.

Wykonano i zbadano strukturę „Cross-Forrest” służącą do kalibracji kształtu ostrza metodą regularyzowanej ślepej rekonstrukcji. Potwierdzono prezentowane w literaturze wyniki teoretyczne. Wymagało to jednak rozszerzenia algorytmu filtracji obrazów KSVD-OMP o dodatkową funkcję kary w postaci wskaźnika grupowej rzadkości reprezentacji oraz zastosowania algorytmu Shi-Tomasiego z 100 nm oknem do detekcji wklęsłych narożników krzyża. Porównano obrazy SEM ostrzy z ich trójwymiarowymi rekonstrukcjami kształtu i potwierdzono zgodność jakościową. Do uzyskania zgodności ilościowej niezbędna jest jednak optymalizacja technologii wykonania struktur „Cross-Forrest”, która pozwoli ograniczyć niepewność oszacowania kształtu początkowego ograniczającą niepewność oszacowania kształtu finalnego.

Comparison of calibration standards for stylus profilometers

Wiśniewska M., Żebrowska-Łucyk S.

Zeszyty Naukowe Wydziału Elektrotechniki i Automatyki Politechniki Gdańskiej

2014

Nr 38

85--88

The surface texture measurement results obtained with use of stylus profilometers have to be both reliable and reproducible. One of the most important factors affecting the dependability and repeatability is the instrument gauge calibration. However, as there is a wide variety of the applicable calibration artefacts, both standardised and non-standardised, a choice of a proper one becomes difficult. As a contribution to the systematisation of the specified calibration standard applications, this paper describes the most popular calibration artefacts and outlines their advantages and drawbacks.

Profile zaobserwowane i wartości parametrów, służące do oceny chropowatości powierzchni, uzyskane przy użyciu profilometrów stykowych muszą być wiarygodne i odtwarzalne. Jednym z najważniejszych czynników, decydujących czy te warunki są spełnione, jest przeprowadzenie wzorcowania głowicy pomiarowej przyrządu ze szczególnym uwzględnieniem doboru odpowiedniego wzorca. Jednak, ze względu na mnogość dostępnych wzorców kalibracyjnych, zarówno znormalizowanych, jak i nieopisanych w dokumentach normalizacyjnych, wybór właściwego stanowi trudne wyzwanie nawet dla doświadczonego metrologa. Wzorce te różnią się nie tylko strukturą geometryczną powierzchni, ale też kształtem, wymiarami, materiałem, z którego są wykonane czy ceną. W związku z tym, usystematyzowanie wiedzy dotyczącej wzorców kalibracyjnych, ich właściwości oraz potencjalnych zastosowań wydaje się niezbędne. W artykule porównano najbardziej rozpowszechnione spośród wzorców służących do wzorcowania głowic pomiarowych profilometrów stykowych. Poza przedstawieniem najważniejszych zalet i wad tych wzorców, dokonano też oceny powtarzalności wyznaczanych przy ich użyciu wartości współczynników wzmocnienia.