Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Kinetyka wzrostu warstw w procesie RFCVD

Jonas S., Jaglarz J., Kyzioł K., Januś M., Murawska E.

Inżynieria Materiałowa

|

2014

|

Vol. 35, nr 6

492--495

PL

gazowej (CVD) zależy od wielu parametrów, takich jak temperatura podłoża, stężenie, szybkość przepływu reagentów chemicznych, ciśnienie, moc generatora plazmy (w przypadku metod PACVD) oraz czas osadzania. Mimo wielu prac związanych z otrzymywaniem warstw w procesie CVD w literaturze brak jest danych dotyczących badań wpływu ostatniego z wymienionych parametrów, czasu osadzania, na szybkość i mechanizm ich wzrostu. Praca zawiera wyniki badań szybkości wzrostu warstw azotku krzemu i warstw węglowych dotowanych azotem na podłożu (001) Si w funkcji czasu osadzania w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganego plazmą generowaną przez fale o częstotliwości radiowej RFCVD (13,56 MHz, 400 W). Na podstawie pomiarów grubości warstw stwierdzono, że krzywe kinetyczne nie mają charakteru liniowego, lecz składają się z etapów, które systematycznie powtarzają się i charakteryzują się na początku szybszym tempem wzrostu, a następnie spowolnieniem pod koniec każdego z etapów. Dane te wskazują, że proces wzrostu w tym układzie jest limitowany liczbą aktywnych miejsc na powierzchni podłoża, a w dalszych etapach na powierzchni tworzących się warstw. Przeprowadzono dyskusję nad prawdopodobnym mechanizmem na podstawie teorii stanu przejściowego.

EN

Layer growth rate in chemical processes of chemical deposition from gaseous phase (CVD) depends on several parameters, such as substrat temperature, concentration and flow velocity of reacting substances, pressure, plasma generator power (in case of PACVD method) and deposition time. Independently on numerous studies on the problem in question, there are no literature data concerning the influence of the deposition time and layer growth mechanism. The results of examination on growth rate of silicon nitride layers and nitrogen-doped carbon layers substrate (001) Si in function of deposition time in the process of plasma-assisted chemical vapour deposition RFCVD (13.56 MHz, 400 W), have been described in the present study. On the basis of the layer thickness measurements it was proved that kinetic curves have nonlinear character but they comprise several stages, which are systematically repeated. It was also proved that the mentioned curves are characterized with bigger growing rate at the beginning and then the rate is moderated at the end of each stage. The data indicate that the growth process within this system is limited by number of active centers on the substrat surface, and in next stages on the surface of growing layers. Discussion on probable mechanism with respect to theory of transitional state has also been presented.

2

Application of the 27Al NMR spectroscopy to studies of mechanisms of cyclic esters polymerization

Kowalski A., Florczak M., Libiszowski J., Majerska K., Duda A.

Polimery

|

2007

|

T. 52, nr 10

722-729

EN

On account of a vast use of the aluminum-containing initiators and catalysts for the polymer synthesis the applications of the 27Al NMR spectroscopy to studies of the polymerization mechanisms is described. In the extensive introduction the specific features of Al atom, important with regard to the 27Al NMR spectroscopy, are discussed. The latter include strong tendency of the organoaluminum compounds to aggregation and quadrupolar character of the 27Al nucleus. Attention is also drawn to some pitfalls in the quantitative analysis of the 27Al NMR spectra which result from an extraneous multinuclear probe head signal, base-line rolling, and the absorption bands broadening at lower temperatures. Finally, examples of application of the 27Al NMR to determining the active centers structure in the ring-opening polymerization of ?-caprolactone (CL) and L,L-lactide (LA) initiated with dialkylaluminum alkoxides, aluminum tris-alkoxides or dialkylaluminum alkoxide/(S)-(+)-2,2’-[1,1’-binaphtyl-2,2’-diylbis-(nitrylmethilidyne)diphenol] [SB(OH)2] system are reported in more detail.

PL

W związku z szerokim wykorzystaniem w syntezie polimerów inicjatorów i katalizatorów na podstawie związków glinoorganicznych w obszernej części wstępnej przedyskutowano szczególne cechy atomu glinu, ważne w odniesieniu do spektroskopii 27Al NMR. Są to przede wszystkim silna skłonność związków glinoorganicznych do agregacji oraz kwadrupolowy charakter jądra 27Al. Zwrócono również uwagę na pewne trudności w ilościowej analizie widm 27Al NMR wynikające z występowania „aparaturowego” sygnału sondy wielojądrowej, falowania linii podstawowej oraz poszerzania pasm absorbcyjnych w niższej temperaturze (rys. 1-4, równ. 1-4). Szczegółowo omówiona w artykule praca własna dotyczyła zastosowań metody 27Al NMR do oznaczania struktury centrów aktywnych polimeryzacji z otwarciem pierścienia ?-kaprolaktonu (CL) i L,L-laktydu (LA) inicjowanej dialkiloalkoksyakoholanami glinu, tris-alkoholanami glinu, bądź układem Et2AlOEt/(S)-(+)-2,2’-[1,1’-binaftylo-2,2’diylobis(nitrylometylidyno)difenolem] [SB(OH)2] (rys. 5-7, równ. 1-9).

3

Polimeryzacja i kopolimeryzacja sześcioczłonowych cyklicznych węglanów wobec katalizatorów koordynacyjnych

Kuran W., Florjańczyk Z., Listoś T., Sobczak M., Dębek C.

Polimery

|

2001

|

T. 46, nr 9

602-612

PL

Zbadano reakcje koordynacyjnej polimeryzacji sześcioczłonowych węglanów cyklicznych (węglanu trimetylenu - WTM i węglanu neopentylu - WNP) w obecności katalizatorów glino-, cynko- i cynoorganicznych. Jako katalizatory stosowano metyloaluminoksan, 2-etyloheksanian cyny(II) oraz produkty reakcji trietyloglinu z wodą, dietylocynku z wodą i dietylocynku z pirogalolem. Prowadząc reakcje w temp. 30-60°C otrzymano z wydajnością 50-95% poliwęglanodiole o średnim ciężarze cząsteczkowym 2000-45 000 g/mol (tabela 1). Stwierdzono, że badane katalizatory umożliwiają także otrzymanie kopolimerów sześcioczłonowych węglanów z tlenkiem propylenu (TP - tabela 2) i węglanem propylenu (WP - tabela 4) oraz terpolimerów z tlenkiem propylenu i dwutlenkiem węgla (tabela 3). Liczbowo średnie ciężary cząsteczkowe otrzymanych kopolimerów i terpolimerów mieszczą się w przedziale 1500-13 500 g/mol. Wszystkie użyte komonomery okazały się wyraźnie mniej reaktywne od WTM i WNP. W przypadku kopolimeryzacji z węglanem propylenu proces należy prowadzić w temperaturze nie niższej niż 80°C; w tych warunkach następuje częściowa dekarboksylacja grup węglanowych [równanie (12)]. Na podstawie uzyskanych rezultatów i doniesień literaturowych przedyskutowano niektóre aspekty mechanizmu wzrostu łańcucha z udziałem aktywnych centrów alkoho-lanowych lub węglanowych.

EN

Coordination polymerization of 6-membered trimethylene carbonate and neopentyl carbonate was studied in the presence of organoaluminum, organozinc and organotin catalysts. Methylaluminoxane, tin(II) 2-ethylhexanoate and products of reactions of triethylaluminum with water, diethylzinc with water, and diethylzinc with pyrogallol were used as the coordinating catalysts. Polymerizations were run at 30-60°C to yield oligocarbonates, M = 2000-45 000 g/mol, in 50-95% yields (Table 1). The catalysts used enabled copolymers of 6-membered carbonates and propylene oxide (Table 2), propylene carbonate (Table 4) and terpolymers with propylene oxide and carbon dioxide (Table 3) to be prepared. The number-average M of the copolymers and terpolymers ranged from 1500 to 13 500 g/mol. Each comonomer vised was less reactive than trimethylene carbonate and neopentyl carbonate. Copolymerization with propylene carbonate should be run at temperatures of min. 80°C; under these conditions, carbonate groups become partially decarboxylated (eqn. 12). The present and the reported results were used to discuss certain aspects of the propagation mechanism involving alkoxide or carbonate active centers.

4

Monokryształy tlenkowe dla elektroniki i fotoniki

Łukasiewicz T., Majchrowski A., Mierczyk Z.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2001

|

Vol. 42, nr 2

19-22

PL

Rozwój elektroniki zależy w dużym stopniu od będących do dyspozycji materiałów oferujących odpowiednie własności. W pracy przedstawiono kierunki działań w zakresie nowych materiałów monokrystalicznych prowadzonych na świecie. Zaprezentowano badania prowadzone w ITME, IOE WAT, IFT WAT w zakresie technologii wytwarzania materiałów i techniki pomiarowej. Omówiono podstawowe własności fizyczne i strukturalne materiałów tlenkowych dla laserów na ciele stałym tj. materiałów wykorzystywanych jako ośrodki aktywne, stosowanych do pasywnej modulacji dobroci, jako podłoże dla techniki cienkowarstwowej i o własnościach nieliniowych do powielania częstości.

EN

Very quickly developing of optoelectronics, specially practical application of laser technique in many domains, needs a many materials possesing suitable properties. For some years trends in optoelectronics are toward small solid state lasers pumped by laser diodes. The intensive search for new crystals with good optical quality, very high structural perfection and improved lasing properties for applications both in bulk and microlasers are still carried on. The paper describes investigation of crystallization of oxide single crystals as well their characterization. Growth and properties of many compounds acting as active laser or selffrequency doubling materials, passive modulators, nonlinear optical materials, crystals used as substrates for blue lasers and acoustopic materials are discussed. Such oxide single crystals like yttrium aluminium garnet with high neodymium concentration, vanadates, borates and double tungstates are presented. A lot of them were obtained and researched in Poland.

5

Kinetyka i mechanizm polimeryzacji epsilon-kaprolaktonu inicjowanej oktanianem cyny (II)

Duda A., Kowalski A., Libiszowski J.

Polimery

|

2000

|

T. 45, nr 7-8

465-474

EN

A review with 34 references covering recent studies on tin(II) octoate (Sn(Okt)2)-initiated polymerization of ε-caprolactone in tetrahydrofuran as solvent at 80oC is presented. Kinetic data (by dilatometry) and structural studies (by MALDI-ToF mass spectrometry) have shown the Sn(Okt)2-initiated polymerization to proceed by the active-chain-end mechanism (eqns. 2a—2d) with tin(II) alkoxides as active centers. The actual initiator is OktSnOR which is formed in the reaction of exchange -SnOkt + ROH U -Sn-OR + OktH, where ROH is the compound containing the hydroxyl group like water, alcohol or a hydroxyacid, present accidentally in, or added intentionally to, the polymerization mixture. These results rule out the activated-monomer mechanism (eqns. 1a—1b) as a possibility, according to which propagation would involve a nucleophilic attack of the -OH group-terminated macromolecule on the monomer -Sn(Okt)2 complex.