Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Modelowanie numeryczne rozpływu elektronów w skaningowym mikroskopie elektronowym o zmiennym ciśnieniu

Krysztof M., Słówko W.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2009

|

Vol. 50, nr 9

55-58

PL

Prezentowana jest metoda numeryczna Monte Carlo umożliwiająca symulacje ruchu elektronów i jonów w zakresie ciśnień gazu charakterystycznych dla skaningowej mikroskopii elektronowej o zmiennym ciśnieniu (VP SEM), tj. od wysokiej próżni do ciśnień przekraczających 10 hPa. Oprogramowanie wykorzystuje metodę Monte Carlo do modelowania zjawisk towarzyszących zderzeniom elektronów w gazie i komercyjny pakiet SIMlON 3D v.7.0 do wyznaczania torów elektronów między zderzeniami. Przedstawiono wyniki symulacji przepływu elektronów w obszarze wejściowym detektora elektronów wtórnych do VP SEM, obejmujące również wzmocnienie gazowe sygnału i towarzyszące mu szumy.

EN

Authors present a method for computer simulations of electron and ion flow in various gas conditions characteristic for the Variable Pressure SEM, i.e. from high vacuum to pressures exceeding 10 hPa. It combines commercially available packet SIMION 3D v.7.0 destined for tracing trajectories of charged particles in electric and magnetic fields, and a Monte Carlo program modeling phenomena accompanying electron collisions with gas molecules. As an example, results of simulations of the electron flow in an input region of the secondary electron detector for the VP SEM, including gas amplifications and noise to signal ratios have been presented.

2

Detektor scyntylacyjny elektronów do skaningowego mikroskopu elektronowego umożliwiający obrazowanie płynnej wody

Słówko W., Krysztof M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2009

|

Vol. 50, nr 9

25-27

PL

Przedstawiono system detekcyjno-próżniowy, zamontowany jako wyposażenie dodatkowe do klasycznego, wysoko-próżniowego SEM, umożliwiający jego pracę zarówno w zakresie wysokiej próżni jak i podwyższonych ciśnień powietrza oraz pary wodnej przekraczających 10 hPa. Stwarza to możliwości obserwacji dielektryków bez pokrycia przewodzącego, a także preparatów zawierających wodę w fazie ciekłej. System jest wyposażony w tzw. pośredni detektor elektronów wtórnych, wykorzystujący elektrony przechodzące przez przesłonę dławiącą do komory pośredniej układu pompowania różnicowego, gdzie następuje konwersja sygnału elektronowego na świetlny, typowa dla detektora scyntylacyjnego.

EN

A vacuum-detection system mounted as an optional equipment to a classic high-vacuum SEM has been presented. The system enables the SEM functioning both at high vacuum and with air or water vapours at pressures exceeding 10 hPa, which means that dielectric samples without conductive covering or those containing liquid water can be observed. The system is equipped with a so called Intermediate Secondary Electron Detector which utilizes electrons passing through the throttling aperture to the intermediate chamber of a differential pumping system. There, conversion of the electron signal into light one typical for a scintillator detector is conducted.

3

Modelowanie numeryczne przepływu elektronów w warunkach niskiej próżni

Krzysztof M., Słówko W.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2007

|

Vol. 48, nr 10

43-44

PL

Zaprezentowano program komputerowy, umożliwiający modelowanie przepływu elektronów w warunkach, zarówno wysokiej jak i niskiej próżni, tj. w warunkach w jakich działa skaningowy mikroskop elektronowy o zmiennym ciśnieniu (tzw. Variable Pressure SEM). Program stanowi połączenie komercyjnego pakietu SIMION 3D v.7.0 do wyznaczania torów cząstek naładowanych w polu elektrycznym i magnetycznym oraz programu Monte Carlo uwzględniającego zjawiska towarzyszące zderzeniom elektronów z molekułami gazu.

EN

Computer program for numerical modelling of electron flow in low vacuum is presented. The program allows to simulate electron flow in both high and low vacuum as it was developed for studying the work of Variable Pressure SEM. It combines commercially available packet SIMION 3D v.7.0 destined for tracing trajectories of charged particles in electric and magnetic fields, and a Monte Carlo program modeling phenomena accompanying electron collisions with gas molecules. The program allows to simulate electron flow in both high and low vacuum of order of tens mbar as it was developed for analyzing of detection systems for Variable Pressure SEM.