Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Powiadomienia systemowe

Sesja wygasła!
Sesja wygasła!

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: Twyman-Green interferometer

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Konstrukcja i badania interferometru laserowego bazującego na elementach dyfrakcyjnych dedykowanego do pomiarów M(O)EMS

Jóźwik M., Liżewski K., Zeitner U. D., Haugholt K.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2010

Vol. 51, nr 6

157-159

W artykule przedstawiono opis i badania demonstratora interferometru laserowego w konfiguracji Twymana-Greena przeznaczonego do charakteryzacji elementów M(O)EMS. Konstrukcja urządzenia opiera się na wykorzystaniu siatek dyfrakcyjnych, odpowiednio zamodelowanych i zoptymalizowanych do funkcji pełniących w interferometrze. Siatki, po oświetleniu płaską wiązką wytworzoną przez diodę laserową i kolimator, pozwalają na odpowiednie prowadzenie wiązki w układzie, podział amplitudy na wiązkę przedmiotową i referencyjną, uformowanie czoła referencyjnego po odbiciu od struktury referencyjnej i łączenie obu wiązek powracających po odbiciach. Specjalna kompaktowa konstrukcja urządzenia pozwala na jego multiplikację i stworzenie wielokanałowej głowicy do jednoczesnego pomiaru kilkunastu badanych obiektów.

Below we present the new approach towards microsystems characterization at wafer level developed under EU project "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). The goal of the project is to provide fast, cost effective and flexible optical inspection system. Two different interferometer approaches are pursued in the project's development process: a refractive optics based on Mirau type Iow coherence interferometer and a diffractive optics based on Twyman-Green laser interferometer. Below we present the design and the tests of the interferometer Twyman-Green. The multifunctional approach of the laser interferometer measurement concept allows within one instrument to inspect MEMS shape and deformation as well as to characterize a spatial distribution of out-of-plain amplitude of vibration at a resonance frequency. The interferometer architecture requires custom designed diffractive optical elements.

Interferometr multispektralny do pomiaru długości płytek wzorcowych klasy K

Pakuła A., Sałbut L., Łukaszewski D., Wengierow M.

Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej

2009

Vol. 58, nr 1

405-413

Przedstawiony niżej tekst opisuje problem pomiaru długości długich płytek wzorcowych klasy K, o długości do 1000 mm, przy wykorzystaniu interferometru multispektralnego. W artykule przedstawiono wymagania, założenia i koncepcję interferometru multispektralnego opartego na układzie Twymana-Greena z automatyczną analizą obrazów prążkowych, wykorzystującego promieniowanie o długości fali: λ₁ = 632,8 nm i λ₂ = 543 nm.

The paper is dedicated to a problem of long gauge blocks, class K, length measurements. The main concept, requirements and asumptions concerning the multispectral interferometer based on the Twyman-Green setup with automatic fringe pattern analysis, working with the laser wavelengths λ₁= 632.8 nm and λ₂ = 543 nm were presented.