Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2010

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: Scanning Thermal Probe

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Integrated thermal probe for SThM investigation of micro- and nanoelectronic devices

Janus P., Szmigiel D., Wielgoszewski G., Weisheit M., Ritz Y., Grabiec P., Hecker M., Gotszalk T., Sulecki P., Zschech E.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2010

Vol. 51, nr 6

62-65

In this paper, we present a novel micromachined Atomic Force Microscopy (AFM) micro-cantilever equipped with a sharp, conductive platinum tip. The processing sequence proposed in this article integrates a high reproducibility and precise post processing applying Focused Ion Beam tip modification. The cantilever is designed for Scanning Thermal Microscopy (SThM) applications in a standard setup with the optical AFM detection system.

W artykule zaprezentowano nową konstrukcję dźwigni mikroskopu sił atomowych (AFM) wyposażoną w przewodzące, platynowe ostrze pomiarowe. Sekwencja technologiczna wytwarzania przedstawianej sondy integruje wysoką powtarzalność z precyzyjnym postprocessingiem ostrza za pomocą zogniskowanej wiązki jonów (ang. Focus Ion Beam). Prezentowana mikrosonda przystosowana jest do zastosowań w skanującym mikroskopie termicznym (ang. Scanning Thermal Micorscopy) ze standardową, optyczną detekcją ugięcia dźwigni. W artykule zaprezentowano proces technologiczny wytwarzania sondy oraz uzyskane wyniki pomiarów.