Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: RGTO technique

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Badania odpowiedzi sensorowej cienkich warstw oraz nanostruktur SnO2

Waczyński K., Izydorczyk W., Niemiec N., Uljanow J., Domański W., Mazurkiewicz J.

Przegląd Elektrotechniczny

2015

R. 91, nr 9

199-203

W pracy przedstawiono wyniki badań nad odpowiedzią na pobudzenie gazowe rezystancyjnych struktur czujnikowych z sensoryczną warstwą SnO2. Czułą na gazy warstwę sensorową wytworzono dwiema technologiami: reotaksjalnego wzrostu i termicznego utleniania (RGTO) i poprzez wzrost nanodrutów metodą termicznego osadzania z fazy gazowej. Klasyczną testową strukturę czujnikową poddano oddziaływaniu dwóch gazów: dwutlenku azotu o stężeniach 3, 8, 25, 80 i 240 ppm oraz wodoru o stężeniach 1500, 4000, 10000, 20000 i 40000 ppm, rejestrując odpowiedź warstwy sensorycznej pracującej w temperaturze 250°C i 300°C.

The results of research on resistance sensor SnO2 structures response to gas was presented in this work. Gas sensitive layer was fabricated using two technologies: RGTO and nanowire growth by thermal vapor deposition. Classic test sensor structure was subjected to two gases: nitrogen dioxide NO2, in concentration of 3 ppm, 8 ppm, 25 ppm, 80 ppm and 240 ppm, and hydrogen H2, in concentration of 1500 ppm, 4000 ppm, 10000 ppm, 20000 ppm and 40000 ppm, registering the response of sensor layer in temperature of 250 °C and 300 °C.

Studies of chemical composition and response of the SnO2 based sensor structure to dry and humid synthetic air

Adamowicz B., Izydorczyk W., Klimasek A., Waczyński K., Uljanow J., Jakubik W., Żywicki J.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2006

Vol. 47, nr 12

5-6

The measurements of the resistance response to synthetic air of the SnO₂ thin film based sensor structures were carried out. The sensing SnO₂ films were deposited on alundum substrates in the rheotaxial growth and thermal oxidation (RGTO) process. The sensor responses were registered under dry and humid airflow during structure heating and cooling (within the temperature range from 20°C to 400°C). The maximum sensor sensitivity to O₂ exposition was registered at a temperature of about 275°C. The temperature reversibility of the studied sensor response was compared with that of a commercial SnO₂ thick film Taguchi sensor. In order to understand the relationship between the sensing and chemical properties of SnO₂ films, the in-depth chemical composition profiles were investigated using the scanning Auger microprobe equipped with an Ar⁺ ion sputtering system.

Zaprezentowano wyniki pomiarów rezystancji cienkich warstw sensorycznych SnO₂ otrzymanych metodą reotaksjalnego wzrostu i termicznego utleniania (RGTO). Pokazano, że wytworzone warstwy są czułe na tlen zawarty w syntetycznym powietrzu. Zarejestrowano odpowiedź sensora na suche i wilgotne syntetyczne powietrze podczas wygrzewania i ochładzania próbki (w zakresie temperatur od 20 do 400°C). Sensor wykazywał maksimum czułości na tlen zawarty w syntetycznym powietrzu w temperaturze około 275°C. Porównano temperaturową zależność odpowiedzi (przy grzaniu i chłodzeniu) badanego sensora z komercyjnym sensorem Taguchi na bazie grubych warstw SnO₂. W celu określenia zależności między właściwościami sensorowymi a składem chemicznym próbki, zbadano głębokościowe profile składu chemicznego za pomocą skaningowego mikroanalizatora elektronów Augera z systemem bombardowania jonami Ar⁺.