Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Tribologia

1 2004

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: RF PACYD method

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Analysis and characterisation of diamond-like a-C:H films obtained from pure methane by RF PACVD method

Smolik J., Walkowicz J.

Tribologia

2004

nr 6

69-88

The paper presents results of investigations on structure and phase composition of diamond-like a-C:H films obtained from pure methane by the RF PACVD method on medical steel AISI316L at different process parameters: rf bias voltage, substrate temperature, methane flow. The Raman spectroscopy was used to determine relative amounts of diamond-like and graphite-like phases in deposited coatmgs. In order to reveal the influence of the process parameters on the structure of the whole composite, i.e. the phase composition of diamond-like films as well as the phase composition of transitional diffusion layer which was formed under the substrate surface during the RF PACVD process, the X-ray phase analysis was carried out with the use of a diffractometer Philips PW 1830. Microscopic investigations of the surface morphology of deposited coatings were carried out using scanning electron microscope Hitachi S-2460N and a metallographic microscope Neophot 32. Surface roughness analysis of deposited films was executed using profile measurement gauge Hommel Tester T1000. Based on the results obtained from carried out investigations authors proved that the phase composition and structure of diamond-like a-C:H films are determined first of all by two parameters of the process: rf bias voltage and substrate temperature. Consequently, the control of the process should be based on monitoring of both structure of the plasma and phase composition of deposited coating.

W artykule zaprezentowano wyniki badań strukturalnych powłok a-C:H otrzymanych w atmosferze czystego metanu metodą RF PACVD na podłożu ze stali medycznej AISI 316L, przy różnych parametrach procesu technologicznego: polaryzacja podłoża, temperatura podłoża, przepływ metanu. W celu określenia struktury fazowej badanych powłok węglowych wykorzystano metodę spektroskopii ramanowskiej, natomiast w celu analizy zmian fazowych zachodzących w podłożu przeprowadzono analizę fazową z wykorzystaniem dyfrakcji rentgenowskiej - dyfraktrometr Philips PW 1840. W artykule przedstawiono również wyniki badań metalograficznych, badań morfologii powierzchni z wykorzystaniem elektronowej mikroskopii skaningowej oraz profilografu Hommel Tester T1000. Na podstawie uzyskanych wyników autorzy wykazali, że struktura fazowa powłok a-C:H, nakładanych metodą RF PACVD w atmosferze czystego metanu, jest determinowana poprzez dwa główne parametry procesu: napięcie polaryzacji oraz temperaturę podłoża.